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다층 SOI구조를 이용한 고온용 압력센서

이영태   (안동대학교 전자공학교육과UU0000902  );
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  • 이영태 (20)

    1. 1996 "실리콘 압저항 압력센서의 오프셋 및 온도 드리프트 개선" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 5 (3): 17~24    
    2. 2001 "Stereolithography 기술을 이용한 마이크로 펌프 제작" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 10 (4): 232~238    
    3. 2001 "Micro-stereolithography 기술을 이용한 용액분석 소자 제작" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 14 (12): 994~1000    
    4. 2002 "SOI 구조를 이용한 열전쌍열(Thermopile) 제작" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 11 (1): 1~8    
    5. 2004 "고온용 실리콘 압력센서 개발" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 13 (3): 175~181    
    6. 2004 "전해 방전법을 이용한 유리 미세 구멍가공" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 13 (1): 72~77    
    7. 2004 "Stereolithography 기술을 이용한 유체소자 제작에 관한 연구" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 21 (10): 188~195    
    8. 2006 "Cu/Ni/Au 전극을 이용한 일회용 포도당 센서 개발" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 15 (5): 352~356    
    9. 2007 "ICP-RIE를 이용한 저압용 실리콘 압력센서 제작" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 16 (2): 126~131    
    10. 2008 "ICP-RIE 기술을 이용한 차압형 가스유량센서 제작" 반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology 7 (1): 1~5    

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