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강유전체를 이용한 MFSFET의 실현 및 그 응용

김광호   (청주대학교 반도체공학과UU0001267  );
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    1. 1995 "직교배열표를 쓴 remote-PECVD 산화막형성의 공정최적화 및 특성" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 8 (2): 171~175    
    2. 1996 "BaMgF$_{4}$ 를 이용한 금속-강유전체박막-실리콘(MFS) 구조의 특성" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (5): 102~107    
    3. 1997 "$BaMgF_4$/Si 구조를 이용한 비휘발성 메모리용 MFSFET의 제작 및 특성" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 10 (10): 1029~1033    
    4. 1998 "RF 스퍼터링법을 이용한 $LiNbO_3/Si$구조의 전기적 및 구조적 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (2): 106~110    
    5. 1999 "$LiNbO_3$ 강유전체 박막을 이용한 저전압용 MFS 디바이스의 특징" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d36 (11): 27~32    
    6. 2000 "강유전체 메모리 소자의 IC 카드 응용" 전기전자재료 = Bulletin of the Korean institute of electrical and electronic material engineers 13 (4): 22~26    
    7. 2002 "SrBi2Ta2O9SiN/Si 구조를 이용한 MFISFET의 제작 및 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 15 (5): 383~387    
    8. 2002 "$LiNbO_3$강유전체 박막을 이용한 MFSFET's의 게이트 전극 변화에 따른 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 11 (2): 103~107    
    9. 2002 "$LiNbO_3$ 강유전체 박막을 이용한 MFS 커패시터의 게이트 전극 변화에 따른 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 11 (4): 230~234    
    10. 2004 "급속 건식 열산화 방법에 의한 초박막 SiO2의 성장과 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (1): 21~26    

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