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DSMC법을 이용한 터보분자펌프 다단 익렬의 2차원 유동장 해석
Analysis of two-dimensional flow fields in the multi-stage turbomolecular pump using the DSMC method

황영규   (성균관대학교 기계공학부UU0000759  ); 허중식   (성균관대학교 기계설계학과 대학원UU0000759  ); 박종윤   (성균관대학교 물리학과UU0000759  );
  • 초록

    The performance of a turbomolecular pump(TMP) in both molecular and transition flow regions is predicted by the numerical solutions of the Boltzmann equation obtained by the direct simulation Monte Carlo method. The compression characteristics of the TMP are investigated for a wide range of the Knudsen number( Kn ). The maximum compression ratios strongly depend on Kn in transition region, while do they weakly on Kn in free molecular flow region. The present numerical results of the single blade row in both molecular and transition regions are used to predict the overall performance of a TMP, which has three kinds of blade with 24-rows.


  • 주제어

    터보분자펌프 .   분자천이유동 .   DSMC법 .   압축비 .   누센수.  

  • 참고문헌 (21)

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    21. A markov chain model for a turbomolecular pump-theory and experiments , Chandran, M.;Krishna Murthy, M. V. , Vacuum / v.48,pp.899-911,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2002. "Recent Progress in Air Conditioning and Refrigeration Research -A Review of Papers Published in the Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering in 2000 and 2001-" 설비공학논문집 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, 14(12): 1102~1139     

 저자의 다른 논문

  • 황영규 (39)

    1. 1988 "수직(垂直) 자연대류(自然對流)의 수동력학적(水動力學的) 안정성(安定性) 계산에 관한 수치해석(數値解析) 방법(方法)" 태양에너지 = Solar energy 8 (1): 82~94    
    2. 1988 "응답계수(應答係數)를 이용(利用)한 건물벽에서의 열부하(熱負荷) 계산(計算)" 空氣調和冷凍工學 : magazine of the society of air-conditioning and refrigerating engineers of Korea =Air-conditioning and refrigeration engineering 17 (4): 357~368    
    3. 1990 "순수한 찬물속에 잠겨있는 경사진 등온벽면 부근의 자연대류에 관한 수동력학적 안정성" 空氣 調和·冷凍 工學 論文集 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering 2 (4): 268~278    
    4. 1996 "터보분자펌프의 성능해석에 관한 수치해석적 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 20 (11): 3620~3629    
    5. 1996 "터보 분자 펌프(Turbomolecular pump)내의 자유 분자 유동에 관한 수치 해석적 연구" 空氣 調和·冷凍 工學 論文集 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering 8 (2): 219~229    
    6. 1996 "얼음 벽면의 융해율을 고려한 비평행 자연대류에서 유동의 불안정성과 천이에 관한 연구" 空氣 調和·冷凍 工學 論文集 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering 8 (3): 437~450    
    7. 1998 "회전날개주위 분자천이유동에 관한 수치해석적 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 22 (5): 640~650    
    8. 1999 "회전날개주위 분자천이유동의 수치해석방법에 관한 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (2): 83~92    
    9. 1999 "핵 융합로 제1벽의 냉각성능에 관한 수치해석적 연구" 空氣 調和·冷凍 工學 論文集 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering 11 (1): 18~30    
    10. 2000 "로브 형상 변화가 루츠형 진공 펌프 성능에 미치는 영향" 유체기계저널 = Journal of fluid machinery 3 (2): 50~56    
  • 허중식 (10)

  • 박종윤 (25)

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