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기능성 재료의 액추에이터 응용

이승기   (단국대학교 전기공학과UU0000336  ); 박정호   (고려대학교 전기공학과UU0000159  );
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  • 이승기 (22)

    1. 1997 "The Optimum Condition of Anisotropic Bulk(10) Si Etching with KOH for High Selectivity and Low Surface Roughness" Journal of electrical engineering and information science 2 (5): 108~113    
    2. 1998 "Bias 스프링을 이용한 형상기억합금 액츄에이터의 설계 방법" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 7 (6): 437~445    
    3. 1998 "합성조건의 변화에 따른 액츄에이터 재료로서의 전도성 고분자의 기계적 특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 7 (6): 446~451    
    4. 1998 "전도성 고분자를 이용한 마이크로 액츄에이터" 전기전자재료 = Bulletin of the Korean institute of electrical and electronic material engineers 11 (4): 339~349    
    5. 1999 "PSG 희생층 식각시 Al층을 보호하기 위한 새로운 HF/$NH_4F$/Glycerine 혼합 식각액" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 8 (5): 414~420    
    6. 2000 "표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 9 (3): 224~232    
    7. 2000 "전도성 고분자를 이용한 마이크로 액추에이터 제작" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (12): 698~704    
    8. 2001 "$NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 10 (5): 304~313    
    9. 2002 "백금의 무 전해 도금에 의한 이온성 고분자-금속 복합물 액추에이터의 제작 공정 및 특성 측정" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 51 (9): 455~463    
    10. 2003 "MEMS 공정을 이용한 전도성 고분자 액추에이터용 마이크로 구조물의 제작" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 12 (4): 156~163    
  • 박정호 (59)

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