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용량형진공계 교정 불확도
Calibration uncertainty of a capacitance diaphragm gauge

홍승수   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 신용현   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 정광화   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 임인태   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 우삼용   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 김정형   (한국표준과학연구원CC0187000  ); 최상철   (한국표준과학연구원CC0187000  );
  • 초록

    1,333 Pa 용량의 용량형진공계를 저진공 국가표준기인 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer)를 이용하여 교정하였다. 이 결과의 불확도를 국제표준화기구의 권고안의 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하였다. 표준압력 1.76 Pa~1.31 $\times$ $10^3$ Pa에서의 합성표준불확도는 $1.38 \times10^{-2}\; Pa\sim3.03 \times10^{-1} $ Pa이었으며, 상대불확도(합성표준불확도/표준압력)는 $2.3 \times 10^{-4}\;Pa\sim7.9 X\times10^{-3} $ Pa 이었다.


    We calibrated a capacitance diaphragm gauge(CDG) of 1,333 Pa range by using ultrasonic interferometer manometer (UIM) that was a national low vacuum standards system. And its uncertainties were evaluated according to International Organization for Standardization(ISO), they were named to A type uncertainty, B type uncertainty, combined standard uncertainty, and expanded uncertainty, We obtained that the combined standard uncertainties were $1.38 \times10^{-2}\; Pa\sim3.03 \times10^{-1} $ Pa and the relative uncertainties(combined standard uncertainty/standard pressure) were $2.3 \times 10^{-4}\;Pa\sim7.9 X\times10^{-3} $ Pa for this 1,333 Pa CDG.


  • 참고문헌 (8)

    1. NIST , Protocol of CCM International Key Comparison in Absolute Pressure / v.,pp.,
    2. 간섭원리에 의한 액주형 압력계 개발 , 정광화(외) , KSRI-87-46-IR / v.,pp.,
    3. 홍승수(외) , 한국진공학회지 / v.5,pp.181,
    4. 초음파간섭 수은주 압력계의 정밀정확도 향상 연구 , 정광화(외) , KRISS-96-021-IR / v.,pp.,
    5. 한국표준과학연구원 , 측정불확도 표현 지침 / v.,pp.,
    6. ISO , Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement / v.,pp.,
    7. NIST , Draft A report: CCM Key Comparison CCM.P-K4 in Absolute Pressure / v.,pp.,
    8. 용량형진공계의 교정절차 , 홍승수(외) , KRISS-C-09-006 / v.,pp.,

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    1. 1992 "텅스텐 선으로 만든 Porous plug의 conductance" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 1 (1): 11~15    
    2. 1992 "Al 2024를 이용한 Conflat Flange Gasket의 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 1 (2): 237~243    
    3. 1993 "$10^{-10}$ torr까지의 초고진공 표준 확립" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 2 (2): 139~144    
    4. 1995 "한국 KRISS와 이태리 IMGC간의 고진공 국가표준의 국제비교" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (2): 135~141    
    5. 1995 "고진공, 초고진공, 대기 환경에서의 STS 표면의 오염 정량화" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (3): 238~246    
    6. 1996 "$1~10^5$ Pa 영역의 저진공 표준 확립" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 5 (3): 181~187    
    7. 1996 "As이온이 주입된 Si의 구조적 특성 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 5 (3): 218~222    
    8. 1997 "초고진공, 고진공, 대기압에서 SUS 316의 오염 구조와 오염 과정 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (1): 1~8    
    9. 1997 "점성진공계 특성연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (4): 293~297    
    10. 1997 "진공표준의 국제비교 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (4): 308~313    
  • 신용현 (40)

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