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분광타원법을 이용한 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수에 관한 연구
Study on dielectric function of natural ZnSe oxide by spectroscopic ellipsomety

김태중   (경희대학교 물리학과UU0001575  ); 성가영   (경희대학교 물리학과UU0001575  ); 최재규   (경희대학교 물리학과UU0001575  ); 김영동   (경희대학교 물리학과UU0001575  );
  • 초록

    분광타원법을 이용하여 상온에서 ZnSe의 유전율 함수를 측정하였다. 순수한 ZnSe의 유전율 함수를 얻기 위해서 적절한 화학적인 식각법을 행함으로써 시료표면의 산화막을 제거하였고, 그 결과 이전에 보고된 것보다 더 좋은 결과를 얻을 수 있었으며, 또한 이전의 산화막 제거 방법에 문제가 있었음을 알 수 있었다. 산화막을 제거하기 전의 유사 유전율 함수와 그것을 수행한 후의 유전율 함수에 대해 브루그먼 유효매질 어림이론을 사용하여 비정질 Se, $GaAsO_3$ , void 등의 물질을 조합함으로써 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수를 결정하였다.


    We performed spectroscopic ellipsometry measurement to obtain dielectric function(DF) of ZnSe at room temperature. Proper wet chemical etching procedure was carried out to remove overlayers on top of ZnSe, and our result indicates that the previous reports on the pure DF of ZnSe have inaccurate interpretations. We constructed DF of oxide on ZnSe by using reported DFs of amorphous-Se, $GaAsO_3$ , and voids through Bruggeman effective-medium approximation.


  • 참고문헌 (13)

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    13. 김상열 , 타원법 / v.,pp.,

 저자의 다른 논문

  • Kim, Tae Jung (14)

    1. 2000 "타원편광분석기를 이용한 $Cd_{1-x}Mg_xTe(0\leqx\leq0.43)$ 박막 화합물의 유전율 함수 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 9 (3): 254~257    
    2. 2002 "Parametric modeling for the dielectric function of $Cd_{0.77}Mg_{0.23}Te$ alloy film" The Journal of Korean vacuum science & technology 6 (4): 149~152    
    3. 2003 "Parametric model을 이용한 InGaAs 박막의 유전함수 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 12 (1): 20~24    
  • 성가영 (0)

  • 최재규 (1)

  • 김영동 (15)

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