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RF-Magnetron Sputtering에 의하여 ITO 유리 위에 성장된 $SrTiO_3$박막의 열처리 특성
Heat treatment effects of $SrTiO_3$ thin films grown on ITO glasses by RE-magnetron sputtering method

김화민   (대구가톨릭대학교 물리.반도체과학 전공UU0000343  ); 이병로   (대구가톨릭대학교 물리.반도체과학 전공UU0000343  );
  • 초록

    $SrTiO_3$ 박막의 미세구조와 광학적 및 유전적 특성에 대한 열처리 효과들이 조사되었다. $SrTiO_3$ 박막은 RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의하여 상온의 ITO유리 위에 성장되었으며, 성장된 박막들은 산소 분위기의 여러 온도에서 열처리되었다. X선 회절 패턴을 분석한 결과 상온에서 제작된 as-deposited박막은 비정질 상태로 나타났으며, 450- $600^{\circ}C$ 에서 열처리한 시료에서는 pyrochlore 구조의 결정 피크들이 우세하게 관측되었다. 그리고 $650^{\circ}C$ 에서 열처리한 시료에서는 perovskite 구조가 우세하게 나타나는 것이 관측되었다. 특히 $650^{\circ}C$ 에서 열처리한 시료의 경우는 박막의 미세 결정구조 변화와 더불어 광학적 띠간격이 크게 변하는 것이 광투과도 측정으로부터 관측되었다. 그리고 $600^{\circ}C$ 에서 열처리된 시료의 경우는 $272^{\circ}C$ 에서 상전이 피크가 관측되는 반면, $650^{\circ}C$ 에서 열처리된 시료에서는 $310^{\circ}C$ 부근에서 유전 분산이 관측되었다.


    Microstructural, optical and dielectric properties of $SrTiO_3$ thin films were investigated. These films were deposited on the ITO glasses by rf-magnetron sputtering at room temperature and subequently heat treated in $O_2$ atmosphere at various temperatures. It has been found from X-ray diffraction patterns that as-deposited films prepared at room temperature are amorphous, while the films heat treated at temperature range of 400~ $600^{\circ}C$ reveal the structure of pyrochlore. On the other hand, the structure of perovskite is dominantly observed in the films heat treated at temperatures over $650^{\circ}C$ in which the drastic changes of optical band gap and dielectric constant are observed. In addition, the phase transition peak is observed at $272^{\circ}C$ in the films heat treated at $600^{\circ}C$ , while the dielectric dispersion is observed at near $310^{\circ}C$ in the films heat treated at $650^{\circ}C$ .


  • 참고문헌 (15)

    1. U. Pal. D. Smanta;S. Ghorai;A. Chaudhuri , J. Appl. Phys. / v.74,pp.6368,
    2. Hong-Cheng Li , Appl. Phys. Lett. / v.73,pp.464,
    3. M. M. Kamalasanan;N. Deepak kumar;Subhas Chandra , J. Appl. Phys. / v.74,pp.679,
    4. J. C. Manifacier;J. Gassiot , J. Phys. / v.E9,pp.1002,
    5. E. B. McDaniel;J. W. P. Hsu , J. Appl. Phys. / v.84,pp.189,
    6. B. G. Hyde;S. Andersson , Inorganic Crystal Structures / v.,pp.,
    7. Journal of Korean Association of Crystal Growth / v.5,pp.215,
    8. Peter Kr. Petrov;Erik. F. Carisson , J. Appl. Phys. / v.84,pp.3134,
    9. K. Nassau;A. E. Miller , Journal of Crystal Growth / v.91,pp.373,
    10. Journal of Korean Association of Crystal Growth / v.5,pp.87,
    11. Shogo Matsubara;Sadahiko Miura;Yoichi Miyasaka;Nobuaki Shohata , J. Appl. Phys. / v.66,pp.12,
    12. A. B. Kozyrev;T. B. Samoilova;A. A. Golovkov;E. K. Hollmann;D. A. Kalinikos;V. E. Longinov;A. M. Prudan;O. I. Soldatenkov , J. Appl. Phys. / v.84,pp.3326,
    13. Hwa-Min Kim , 한국진공학회지 / v.9,pp.60-68,
    14. Toshiyuki Sakuma;Shintaro Yamamichi;Shogo Matsubara;Hiromu Yamaguchi;Yoichi Miyasaka , Appl. Phys. Lett. / v.57,pp.2341,
    15. D. Roy;C. J. Peng;S. B. Krupanidhi , Appl. Phys. Lett. / v.60,pp.2478,

 저자의 다른 논문

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    1. 2005 "마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 $In_2O_3$-ZnO 박막의 전기적 특성에 대한 열처리 효과" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 14 (4): 238~244    
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