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Ti-naphthenate의 코팅-열분해에 의한$TiO_2$ 박막의 제조
Preparation of $TiO_2$ thin films by coating-pyrolysis process of Ti-naphthenate

김진영   (여수대학교 화학공학과UU0000929  ); 김승원   (여수대학교 화학공학과UU0000929  ); 장우석   (여수대학교 화학공학과UU0000929  ); 김현태   (여수대학교 화학공학과UU0000929  ); 최상원   (여수대학교 화학공학과UU0000929  );
  • 초록

    $TiO_2$ 박막을 금속유기화합물인 Titanium-naphthenate의 코팅-열분해법으로 제조하였다. 출발물질은 Ti-naphthenate를 toluene에 희석한 용액을 사용하였으며 기판은 slide glass를 사용하였다 Titanium-naphthenate 용액을 spin-coating법으로 기판에 코팅하고 $450^{\circ}C$ 에서 열터리하여 $TiO_2$ 박막을 제조하였다 제조한 박막의 특성을 UV/Vis, XRD 및 SEM 등으로 박막의 투과율, 굴절률, 결정상 및 표면 형상을 분석하였다. Slide glass 위에 제조한 TiO $_2$ 박막은 투과율은 70~90%이며 420nm에서의 굴절율은 2.7이었다. $TiO_2$ 박막은 anatase상을 나타내었고 실타래 형상의 주름을 가진 표면을 나타내었다


    $TiO_2$ thin films were prepared by coating and subsequent pyrolysis processes using Titanium-naphthenate as a raw material. $TiO_2$ thin films were made by spin-coating technique on the glass substrates, and heat treated at 45 $0^{\circ}C$ , The transmittance, refractive index, crystallinity and surface morphology of the $TiO_2$ thin films were measured by UV/Vis spec trophotometer, x-ray diffractometer and scanning electron microscope. $TiO_2$ thin films on the slide glass showed the trans mittance of 70-90% and refractive index of 2.6 at 420 nm. The results of XRD and SEM showed that the $TiO_2$ thin films exhibited the anatase phase and the thread-like surface morphology.


  • 주제어

    $TiO_2$ thin film .   Spin coating .   Transmittance .   Refractive index.  

  • 참고문헌 (11)

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    10. Jung-Hyen Park , New ceramics / v.61,pp.,
    11. Photodegradation of organic pollutants in water using metal-supported TiO₂catalysts prepared by sol-gel techniques , H.Y. Ha;M.A. Anderson , Hwahak Konghak / v.34,pp.,

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  • 김진영 (3)

    1. 2005 "Magadiite 주형을 이용한 다공성 흑연의 합성" 공업화학 = Applied chemistry for engineering 16 (4): 576~580    
    2. 2018 "비이온성 계면활성제 수용액에서 Na2SiO3와 H2SiF6의 반응을 통한 메조포러스 실리카의 제조" 공업화학 = Applied chemistry for engineering 29 (1): 122~126    
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