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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 (BCZT) 박막의 열처리 특성분석
Characterization of the Annealing Effect of 0.5 % Ce-doped Ba(Zr0.2Ti0.8)O3 Thin Films Grown by Rf Magnetron Sputtering Method

최원석   (성균관대학교 정보통신공학부UU0000759  ); 박용섭   (성균관대학교 정보통신공학부UU0000759  ); 이준신   (성균관대학교 정보통신공학부UU0000759  ); 홍병유   (성균관대학교 정보통신공학부UU0000759  );
  • 초록

    It was investigated that the structural and electrical Properties of Ce-doped Ba(Zr $_{x}$ Ti $_{1-x}$ )O $_3$ (BCZT) thin films with a mole fraction of x=0.2 and a thickness about 100 nm. BCZT films were prepared on Pt/Ti/SiO $_2$ /Si substrate by a RF magnetron sputtering system. We have measured the thickness profile with Ar/O $_2$ ratio and the surface roughness. It was observed that the oxygen gas, which introduced during the film deposition, have an influence on the roughness of the film and the film roughness was reduced by annealing from 2.33 nm to 2.02 nm (RMS at 500 $^{\circ}C$ , Ar:6 sccm, $O_2$ :6 sccm). It was found that annealing procedure after top electrode deposit can reduce the dissipation factor.


  • 주제어

    RF magnetron sputtering .   Ce-doped Ba( $Zr_{0.   2}Ti_{0.   8}$) $O_3$ (BCZT) .   Thin Film .   MLCC(Multi-layer ceramic capacitor).  

  • 참고문헌 (8)

    1. Lanthanum substituted bismuth titanate for use in nonvolatile memories , B.H.Park;B.S.Kang;S.D.Bu;T.W.Noh;J.Lee;W.Jo , Nature / v.401,pp.682,
    2. Highly insulative barium zironate-titanate thin films prepared by RF magnetron sputtering for dynamic random access memory applications , T.B.Wu;C.M.Wu;M.L.Chen , Appl. Phys. Lett. / v.69,pp.2659,
    3. ULSI DRAM의 Capacitor 절연막용 BST (Barium Strontium Titanate) 박막의 제작과 특성에 관한 연구 , 류정선;강성준;윤영섭 , 전기전자재료학회지 / v.9,pp.336,
         
    4. Diffuse ferroelectric phase transitions in $Ba(Ti_{1-y}Zr_{y})O_{3}$ ceramics , D.Hennings;A.Schnell , J. Am. Caram. Soc. / v.65,pp.539,
    5. Peroxo-oxalate preparation of doped barium titanate , S.Gijp;L.Winnubst;H.Verweij , J. Am. Ceram. Soc. / v.82,pp.1175,
    6. Sol-Gel 법을 이용한 PLZT 박막 커패시터의 전기적 특성 , 박준열;정장호;이성갑;이영희 , 전기전자재료학회지 / v.9,pp.668,
         
    7. Dielectric properties, leakage behaviour, and resistance degradation of thin films of the solid solution series $Ba(Ti_{1-y}Zr_{y})O_{3}$ , S.Hoffmann;R.Waser , Integrated Ferroelectrics / v.17,pp.141,
    8. PZT 강유전체 박막 캐패시터와 하부전극에 관한 연구 , 박영;정세민;문상일;정규원;김성훈;송준태;이준신 , 전기전자재료학회지 / v.12,pp.592,

 저자의 다른 논문

  • 박용섭 (5)

    1. 2004 "비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H의 물리적 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (3): 278~282    
    2. 2008 "RF 마그네트론 스퍼터링 법에 의한 ATO 투명전도막의 특성" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 18 (2): 76~80    
    3. 2008 "바이오센서로의 응용을 위한 수직 배열된 탄소나노튜브의 식각처리" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 21 (7): 594~598    
    4. 2008 "Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 21 (7): 660~664    
    5. 2008 "탄소비율에 따른 Diamond-like Carbon Film의 광학적 및 기계적 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 21 (9): 808~811    
  • Yi, Jun-Sin (83)

  • 홍병유 (21)

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