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분광타원법을 이용한 PDP용 ITO 박막의 패턴 분석
Analysis of patterned ITO layer of PDP thin films using spectroscopic ellipsometry

윤희삼   (아주대학교 분자과학기술학과UU0000892  ); 김상열   (아주대학교 분자과학기술학과UU0000892  );
  • 초록

    분광타원법을 이용하여 PDP용 ITO박막의 광학상수 및 패턴을 분석하였다. ITO 박막의 광물성은 로렌쯔 진동자 모델을 사용하고 ITO의 패턴에 의한 효과는 전체빔이 ITO와 유리기층을 덮는 면적비 가중치를 가진 반사율 평균방법으로 반영시켰다. PDP 다층박막을 구성하고 있는 유리기층 위의 ITO박막 패턴이 타원데이터에 미치는 영향을 분석하여 ITO가 패턴에서 차지하는 면적비를 결정하였다. 측정된 분광타원데이터에 최적맞춤한 ITO의 상대면적값이 예측값과 보이는 차이를 검토함으로써 분광타원법을 사용한 ITO패턴분석의 한계와 이를 극복하는 방법을 제시하였다.


    We studied patterned ITO layers of PDP thin films on glass substrates using spectroscopic ellipsometry. The optical property of ITO is expressed with the optical model based on two Lorentz oscillators. The effect of patterned ITO is calculated by taking the weighted average of reflectance in proportion to ITO coverage. The relative coverage of ITO is determined by using the model analysis of spectroellipsometric data. The difference of ITO coverage obtained by the best-fit model analysis of ellipsometric spectra to the expected one is critically examined and suggestions are made to minimize the observed discrepancy.


  • 주제어

    ITO .   complex refractive index .   ITO film coverage .   two Lorentz oscillators .   spectroscopic ellipsometry.  

  • 참고문헌 (9)

    1. R.M.A. Azzam;N.M. Bashara , Ellipsometry and polarized Light / v.,pp.,
    2. 김상열 , 타원법 / v.,pp.,
    3. Spectroscopic ellipsometry characterization of indium tin oxide film microstructure and optical constants , R.A.Synowicki , Thin Solid Films / v.313-314,pp.394-397,
    4. G.R.Fowles , Introduction to Modern Optics / v.,pp.,
    5. PDP 재료기술의 동향 , 장명수;류병길 , 한국정보디스플레이학회지 / v.2,pp.19,
    6. Edward Collett , Polarized Light / v.,pp.,
    7. Blaine Johs , Optical analysis of complex multilayer structures using multiple data types / v.,pp.,
    8. Spatially resolved ellipsometry , M.Erman;J.B.Theeten , J. Appl. Phys. / v.60,pp.859-873,
    9. F.Wooten , Optical Properties of Solids / v.,pp.,

 저자의 다른 논문

  • 김상열 (29)

    1. 1990 "Spectroscopic Ellipsometry를 이용한 표면 및 박막의 분석" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 1 (1): 73~86    
    2. 1990 "Potential Profiles and Capacitances of an Ideally Polarizable Electrode/Hard Sphere Electrolyte System" Bulletin of the Korean Chemical Society 11 (6): 487~493    
    3. 1994 "스퍼터링 챔버에 설치한 in-situ 타원해석기의 성능평가" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 3 (2): 166~172    
    4. 1995 "무반사 렌즈용 다층박막의 광학적 구조 및 광투과 특성" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 6 (4): 259~265    
    5. 1997 "PECVD 방법으로 성장시킨 DLC 박막의 복소굴절율 및 성장조건에 따른 박막상수 변화" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 8 (4): 277~282    
    6. 1997 "분광타원해석법을 이용한 $Ge_2Sb_2Te_5$ 의 복소굴절율 결정" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 8 (6): 445~449    
    7. 1999 "코로나 극성배향이 비선형 고분자박막의 복소굴절율에 미치는 영향 및 배향효과의 정량화" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 10 (3): 181~187    
    8. 1999 "분광 타원해석기 입사각의 정밀 보정" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 10 (3): 208~213    
    9. 1999 "보급형 He-Ne 타원해석기의 제작과 $TiO_2$ 박막 유효밀도 변화의 in-situ 측정" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (a4): 432~437    
    10. 2001 "Division-of-Amplitude-Photopolarimeter를 이용한 초고속 타원계의 설계" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 12 (3): 184~189    

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