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한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics v.14 no.3, 2003년, pp.327 - 330   피인용횟수: 1

Butt-coupled DBR-LD제작 및 동작특성
Fabrication and lasing characteristics of tunable Butt-coupled DBR-LD

오수환   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 이철욱   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 김기수   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 이지면   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 고현성   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 박상기   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  ); 박문호   (한국전자통신연구원 반도체 원천기술연구소CC0186800  );
  • 초록

    본 논문에서는 도파로층이 1.3 $\mu\textrm{m}$ InGaAsP긴 파장 가변 BT(butt-coupled)-DBR(distributed bragg reflector)-LD(laser diode)를 제작하고, 특성을 측정하였다. Butt 결합 성장면의 성장조건을 건식식각과 선택식각 방법과 MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)성장으로 최적화 한 후 활성층과 도파로층의 결합 효율을 측정한 결과 결합 효율이 85% 이상으로 나타났으며, 제작된 BT-DBR-LD에 연속전류를 인가 했을 때, 평균 임계전류는 약 21 ㎃, 최대 광출력이 25 ㎽ 이상으로 나타났다. 또한 위상제어 영역과 DBR영역에 각각 25㎃와 50 ㎃의 전류를 주입하여도 급격한 광출력 변화와 포화현상이 나타나지 않았다 이때 최대 파장 가변 폭은 7.4 nm, SMSR비는 40 ㏈이상으로 나타났다.


    We present the fabrication and measured performance of a wavelength tunable Butt coupled DBR-LD. An average coupling efficiency between active layer and passive waveguide layer was measured over 85%per facet, and the average threshold current was 21 ㎃ for the waveguide integrated DBR laser. High output power of Butt coupled DBR-LD was obtained over 25 ㎽. As high as 25 ㎽ of output power was achieved by the butt coupled method. The maximum wavelength tuning range is about 7.4 nm, and the side mode suppression ratio was more than 40 ㏈ using 1.3 ${\mu}{\textrm}{m}$ InGaAsP waveguide layer.


  • 주제어

    semiconductor laser .   tunable laser .   butt-coupled .   DBR laser.  

  • 참고문헌 (12)

    1. Optical components for WDM light networks , M.S.Borella;J.P. Jue;D.banerjee;B.Ramamurthy;B.Mukherjee , Proc. IEEE / v.85,pp.1274-1307,
    2. High-performance strain-compensated multi quantum well planar buried heterostructure laser diodes with low leakage current , H.S.Cho;D.H. Jang;J.K. Lee;K.H. Park;J.S. Kim;S.W. Lee;H.M. Kim;H.-M. Park , Jpn. J. Appl. Phys. / v.35,pp.1751-1757,
    3. Wavelength-Tunable Three-Electrode DBR Laser with a Thin-Active Layer in Tuning Regions , Shinji Sakano;Akihiko Oka;Naoki chinone , IEEE Photon. Technol. Lett. / v.3,pp.866-868,
    4. Tunable twin-guide laser: A novel laser diode with improved tuning performance , M.C.Amann;S.Illek;C.Schanen;W.Thulke , Appl. Phys. Lett. / v.54,pp.2532-2533,
    5. Tuning ranges for 1.5 ㎛ wavelength tunable DBR lasers , S.MURATA;I.MITO;K.KOBAYASHI , Electronics. Letters. / v.24,pp.577-579,
    6. Low coupling losses between InP/InGaAsP optical amplifiers and monolithically integrated waveguides , T.Brenner;E.Gini;H.Melchior , IEEE Photon. Technol. Lett. / v.5,pp.212-214,
    7. Extrmely high waveguide optical amplifier coupling efficiency measured on passive test structure , M.Renaud;J.A.Cavalles;P.Jarry;E.Boucherez;M.Erman , IEEE Photon. Technol. Lett. / v.3,pp.47-49,
    8. GaInAsP/InP integrated laser with butt-jointed built-in distributed Bragg reflector waveguide , Y.Abe;K.Kishino;Y.Suematsu;S.Arai , Electron. Lett. / v.17,pp.945-947,
    9. TUNABLE DBR LASER WITH TUNING RANGE , Y.Kotaki;M.Matsuta;H.Ishikawa;H.Imai , Electron. Lett. / v.24,pp.503-505,
    10. Wavelength Optical/Electron Encoding Module for ATM Optical-Switching , J.Hourany;C.Chauzat;M.Bilard;D.De Bouard;R.Lefeve , IEEE Photon. Technol. Lett. / v.7,pp.1306-1308,
    11. Multielectrode distributed feedback laser for pure frequancy modulation and chirping suppressed amplitude modulation , Yoshikuni;G.Motosugi , J. Lightwave Technol. / v.5,pp.516-522,
    12. Narrow-Spectral-Linewidth, High-Output-Power Operation, and FM Response Characteristics in 1.5㎛ Butt-Jointed DBR Lasers , T.Kunii;Y.Ogawa;H.Wada;T.Nonaka;Yoshio Kawai , IEEE J. Quantum Electron. / v.QE-27,pp.1773-1781,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2004. "Fabrication and Characteristics of Tunable Butt-Coupled Sampled-grating Distributed Bragg Reflector (SG-DBR) Laser Diodes" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 17(1): 16~20     

 저자의 다른 논문

  • 오수환 (4)

    1. 2003 "도파로 결합 구조에 따른 DBR-LD의 동작특성" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 40 (9): 666~672    
    2. 2004 "파장가변 Sampled-grating Distributed Bragg Reflector (SG-DBR) 레이저 다이오드 제작" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (1): 16~20    
    3. 2004 "레이저 홀로그래피 방법과 반응성 이온식각 방법을 이용한 InP/InGaAsP 광자 결정 구조 제작" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 15 (4): 309~312    
    4. 2004 "저 전류 및 고 효율로 동작하는 양자 우물 매립형 butt-coupled sampled grating distributed bragg reflector laser diode 설계 및 제작" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 15 (5): 469~474    
  • 이철욱 (3)

  • 김기수 (1)

  • 고현성 (5)

  • 박상기 (2)

  • 박문호 (4)

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