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재질 변화에 따른 초정밀가공기용 마이크로 스테이지의 안정성 해석
Stability Analysis According to Material Alteration on Micro Stage for Micro Cutting Machine

김재열   (조선대학교 기전공학과UU0001180  ); 곽이구   (조선대학교 대학원 정밀기계공학과UU0001180  ); 김항우   (송원대학 자동차과UU0000799  );
  • 초록

    In this paper, stability of ultra precision cutting unit is analyzed and this unit is the kernel unit in ultra precision processing machine. According to alteration of shape and material about hinge, stability investigation is performed Through this stability investigation, trial and error is reduced in design and manufacture, at the same time, we are accumulated foundation data for unit control.


  • 주제어

    나노기술 .   절삭력 .   유한요소해석 .   미소절삭 유닛.  

  • 참고문헌 (12)

    1. S.T.Smith;D.G.Chetwynd , Foundation of Ultra Precision Mechanism Design / v.,pp.95-128,
    2. Computer Similation and Cintrol Performance Evaluation for Feedback System of Ultra Positioning by using Laser Interferometer , Jae Yeol Kim;KYu Tae Lee;Lee Ku Kwac;Jae Ho Han;Chang Hun Kim , KSMTE / v.11,pp.17-25,
         
    3. H.NAKAZAWA , Principles of Precision Engineering / v.,pp.75-82;140-167,
    4. Thomas J.R.Hughes , The Finite Element Method / v.,pp.90-91,
    5. Control performance evaluation of ultra precision Positioning apparatus , Jae Yeol Kim;Haeng Nam Lee;Lee Ku Kwac;Jae ho Han;Young Tae Cho;Choong Geug Jun , Proceedings of The 2000 International Symposium on Mechatronics and Intelligent Mechanical System for 21 Century, ISIM / v.,pp.252-255,
    6. D.Keith Bowen , Development in Nanotechnology / v.,pp.95-129,
    7. A Study on the Waviness Compensation Systemod Ultraprecision Machining , Jong Du Kim , KSMTE / v.7,pp.132-140,
         
    8. MSC , MARC Analysis Research Corporation manual / v.A;B;C;D,pp.,
    9. In-Process Control of Workpiece Dimension in Turning , M.Shiraishi;K.Uehara , Annal of The CIRP / v.28,pp.333-337,
    10. Simulation and Control performance evaluation of ultra precision singe plane X-Y stage , Lee Ku Kwac;Jae Yeol Kim;Jae Ho Han , PROCEEDING OF KSMTE SPRING CONFERENCE / v.,pp.422-423,
    11. Simulation and Control Performance Evaluation of Ultra-precision Single Plane X-Y Stage , Ki hyung Park;Jae Yoel Kim;Lee Ku Kwac , KSMTE / v.11,pp.65-72,
         
    12. In-Process Control of Workpiece Dimension in Turning , M.Shiraishi;K.Uehara , Annal of The CIRP / v.28,pp.333-337,

 저자의 다른 논문

  • 김재열 (90)

    1. 1990 "디지탈 초음파 화상처리에 의한 반도체 패키지의 미소결함 검출에 관한 연구" 비파괴검사학회지 = Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing 10 (2): 43~49    
    2. 1991 "2차원 절삭시의 각종 파라메터와 음향 방출 신호와의 상호 관계에 관한 연구" 정밀공학 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 8 (1): 74~83    
    3. 1993 "IC-패키지에 대한 각종 디지탈 화상처리 기술의 적용방법에 대한 연구" 비파괴검사학회지 = Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing 12 (4): 18~25    
    4. 1994 "6자유도 진동모댈의 위치 및 자세결정을 위한 적응제어기법의 적용에 관한 연구" 한국자동차공학회논문집 = Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers 2 (6): 94~101    
    5. 1995 "고장력 볼트의 체결축력 측정을 위한 설비 안전 검사 시스템 구축에 관한 연구" 비파괴검사학회지 = Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing 15 (2): 371~377    
    6. 1996 "출력귀환과 스카이 훅 제어 방식에 의한 차량 현가 장치의 성능에 관한 연구" 한국공작기계기술학회지 = Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 5 (4): 7~16    
    7. 1997 "신경회로망에 의한 용접 결함 종류의 정량적인 자동인식 시스템 개발에 관한 연구" 한국공작기계기술학회지 = Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 6 (1): 27~33    
    8. 1997 "토치 회전식 자동용접 시스템의 용접공정변수 최적선정" 한국공작기계기술학회지 = Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers 6 (2): 92~101    
    9. 1999 "$\textrm{Li}_2\textrm{ZrO}_3$ 계를 이용한 $\textrm{CO}_2$ 가스 센서" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 9 (9): 896~899    
    10. 1999 "초정밀 조미동 위치결정기구의 설계 및 제어" 한국공작기계학회지 = Journal of the Korean society of machine tool engineers 8 (3): 9~14    
  • 김항우 (6)

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