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LIGA공정을 이용한 정밀 고분자 광도파로 제작
Fabrication of Polymeric Optical Waveguide by LIGA

김진태   (한국전자통신연구원 광접속모듈팀CC0186800  ); 김병철   (한국전자통신연구원 광접속모듈팀CC0186800  ); 최춘기   (한국전자통신연구원 광접속모듈팀CC0186800  ); 윤근병   (한국전자통신연구원 광접속모듈팀CC0186800  ); 정명영   (한국전자통신연구원 광접속모듈팀CC0186800  );
  • 초록

    LICA technique evolved as a basic fabrication process fur micro-structure. The present report deals with the basic technological features in the sequence of the LIGA technique such as deep x-ray lithography(DXRL), electroplating, and moulding processes at Pohang Light Source (PLS). We designed 3-D structured master for fabrication of polymeric optical wavegude and manufactured polymeric optical wavegude with the same using hot embossing process. Polymeric optical waveguide could be produced with ${\pm}$ 1 $\mu\textrm{m}$ accuracy and good surface roughness.


  • 주제어

    리가 .   깊은 X선 사진식각 .   핫 엠보싱 .   고분자 광 도파로.  

  • 참고문헌 (17)

    1. Tan, M. X., Bankert, M. A., Griffiths, S. K., Ting, A., Boehme, D. R., Wilson, S., and Balser, L. M., 1998, 'PMMA Development Studies using Various Synchrotron Sources and Exposure Condistions,' SPIE Vol. 3512, pp. 262-270 
    2. Madou, M. J., 1997, Fundamentals of Microfabricatin, Cahp. 6., Boca Taton, FL, CRC Press 
    3. EI-Kholi, A., Bade, K., Mohr, J., Pantenburg, F. J., and Tang, X. M., 2000, 'Alternative Resist Adhesion and Electroplating Layer for LIGA Process,' Microsystem Technologies, Vol. 6, pp. 161-164 
    4. Lehockey, E. M., Reid, I., and Hill, I., 1988, 'The Radiation Chemistry of Poly(methylmethacrylate) Polymer Resists,' J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 6, pp. 2221-2225 
    5. Progelhof, R. C. and Throne, J. L., 1993, Polymer Engineering Principles, pp. 471, Hanser, Munich 
    6. Kim, J. T., Kim, B. C., Yoon, K. B., Jeong, M. Y., and Jung, S. W., 2002, 'Fabrication of Polymer Micro Structures by Hot Embossing,' J. Korean Industrial and Engineering chemistry, Vol. 13, pp. 832-835 
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    12. Pantenburg, F. J., Achenbach, S., and Mohr, J., 1998, 'Characterisation of Defects in Very High Deep-Etch X-ray Lithography Microstructures,' Microsystem Technologies, Vol. 4, pp. 89-93 
    13. Meyer, P., El-Kholi, A., and Schulz, J., 2002, 'Investigations of the Development Rate of Irradiated PMMA Microstructures in Deep X-ray Lithography,' Microelectronic Engineering, Vol. 63, pp. 319-328 
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    16. Becker, H. and Heim, U., 1995, 'Hot Embossing as a Method for the Fabrication of Polymer High Aspect Ratio Structure,' Sensors and Actuators, Vol. 83, pp. 130-135 
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 저자의 다른 논문

  • 김진태 (34)

    1. 1983 "MF 디지털 송신기의 설계에 관한 고찰" 電子工學會誌 = Journal of the Korean Institute of Electronics Engineers 20 (3): 29~32    
    2. 1984 "MF디지탈 수신기의 설계에 관한 고찰" 電子工學會誌 = Journal of the Korean Institute of Electronics Engineers 21 (6): 27~33    
    3. 1994 "프레임릴레이를 통한 LAN/ISDN 인터페이스 연구" 정보통신 : 한국통신학회지 = The journal of the Korean Institute of Communication Sciences 11 (4): 62~70    
    4. 1995 "B-ISDN과 N-ISDN 의 연동방안" 정보통신 : 한국통신학회지 = The journal of the Korean Institute of Communication Sciences 12 (12): 166~175    
    5. 1996 "프레임 릴레이 서비스를 위한 ISDN 교환시스템의 설계 및 성능 분석" 정보처리논문지 = The transactions of the Korea Information Processing Society 3 (3): 501~511    
    6. 1996 "소용량 및 대용량의 ATM시스템에 적합한 스위칭 망의 구성 방안" 정보처리논문지 = The transactions of the Korea Information Processing Society 3 (4): 947~960    
    7. 1996 "ATM 시스템 경보 취합 장치 설계 및 개발" 정보처리논문지 = The transactions of the Korea Information Processing Society 3 (7): 1845~1857    
    8. 1996 "대용량 ATM을 위한 공유 버퍼 메모리 스위치 구조 및 교환 망의 구성 방안" 한국통신학회논문지 = The journal of the Korean institute of communication science 21 (1): 80~90    
    9. 1996 "주파수 재 사용 기술을 이용한 M-ary 직교 16-State 및 32-State 다차원 PSK 트렐리스코딩" 한국통신학회논문지 = The journal of the Korean institute of communication science 21 (8): 2003~2012    
    10. 1997 "DMT ADSL 성능 모델 및 서비스 망" 정보통신 : 한국통신학회지 = The journal of the Korean Institute of Communication Sciences 14 (6): 109~122    
  • 최춘기 (12)

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