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초고속 광변조기 제작을 위한 LiNbO3도파로의 건식식각
Dry Etching of patternedLiNbO3Waveguides for the High-speed Optical Modulator fabrication

양우석   (전자부품연구원 광부품연구센터CC0063597  ); 김우경   (전자부품연구원 광부품연구센터CC0063597  ); 이승태   (단국대학교 전자공학과UU0000336  ); 박우정   (성균관대학교 신소재공학과UU0000759  ); 장현수   (성균관대학교 정보통신공학부UU0000759  ); 윤대호   (성균관대학교 신소재공학과UU0000759  ); 이한영   (전자부품연구원 광부품연구센터CC0063597  );
  • 초록

    Ti-indiffused LiNbO $_3$ waveguide have been used to various high speed optical device based on electro-optic effect such as modulators, switches, and sensor, etc. In order to high speed modulation of optical modulator have, one of the further devices, needed to increasing of electrode surrounding air by LiNbO $_3$ dry etching because of impedance matching for optical and RF phase velocity between waveguide and electrode. We studied property of LiNbO $_3$ dry etching after waveguide patterning lot optical modulation by using neutral loop discharge (NLD) plasma.


  • 주제어

    $LiNbO_3$ .   Waveguide .   Modulator .   Plasma .   Etching.  

  • 참고문헌 (6)

    1. Reactive ion beam etching of lithium tantalate and its application for pyroelectric infrared detectors , C.plehnert;V.Norkus;S.Mohling;A.Hayes , Surface and Coating Technol. / v.74,pp.932,
    2. Growth of crystalline LiF on CF₄plasma etched LiNbO₃substrates , H.Nagata;N.Mitrugi;K.Shima;M.Tamai;E.M.Haga , J. Crystal Growth / v.187,pp.573,
    3. Surface precipitates on single crystal LiNbO₃after dry-etching by CHF₃plasma , K.Shima;N.Mitsugi;H.Nagata , J. Mater. Res. / v.13,pp.527,
    4. Lithum niobate ridge waveguides by nikel diffusion and proton-exchanged wet etching , W.L.Chen;R.S.Chen;J.H.Lee;W.S.Wang , IEEE Phon. Technol. / v.10,pp.1318,
    5. Wet etching of proton-exchanged lit hum niobate-A novel proceeding technique , F.Laurell;J.Webjorn;G.Arvidsson;S.Seki , J. Lightwave Technol. / v.10,pp.1606,
    6. Highly efficient 40-GHz band width Ti:LiNbO₃optical modulator employing ridge structure , K.Noguchi;O.Mitomi;K.Kawano;M.Yanagibashi , IEEE Phon. Technol. Lett. / v.5,pp.52,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2003. "Development of Trenched SOI 1X2 Thermo-Optic Switch for Improvement of Thermal Diffusion Effect" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 16(12): 1255~1260     

 저자의 다른 논문

  • 양우석 (19)

    1. 2002 "Ti:Ti:LiNbO3를 이용한 초고속 광 매트릭스 스위치 제조" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 12 (4): 254~258    
    2. 2002 "μ-PD법을 이용하여 성장시킨 Er2O3와 MgO를 첨가한 화학양론조성 LiNbO3 단결정의 Up-conversion 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 39 (9): 835~839    
    3. 2003 "Helicon Wave Plasma에 의해 식각된 단결정 LiNbO3의 표면 형상 및 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 40 (9): 886~890    
    4. 2005 "$Ti:LiNbO_3$ 도파로 제작을 위한 열처리 과정 동안 강유전 도메인 특성에 미치는 영향" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 15 (3): 124~127    
    5. 2005 "외부전계 인가에 의한 조화용융조성 LiNbO3 결정의 주기적 분극반전" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 42 (11): 749~752    
    6. 2005 "광도파로 제작을 위한 단결정 LiNbO3 건식 식각 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 42 (4): 232~236    
    7. 2006 "저손실 Ti : $LiNbO_3$ 광도파로의 주기적 분극 반전과 광학특성" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 16 (2): 49~52    
    8. 2006 "조화용융조성 $LiNbO_3$의 주기적 분극 반전 동안 도메인 생성 및 이동에 관한 연구" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 16 (2): 53~58    
    9. 2006 "LiINbO3 기판의 분극반전을 이용한 5.5 GHz 대역 SSB 광변조기의 설계 및 제작" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 17 (2): 175~180    
    10. 2006 "Quasi-Velocity-Matching물 이용한 60 GHz 광캐리어 발생기" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 17 (2): 181~185    
  • 김우경 (10)

  • 이승태 (0)

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