본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

사각 나선형 박막 인덕터의 GHz 대역 특성
GHz Bandwidth Characteristics of Rectangular Spiral type Thin Film Inductors

김지원   (숭실대학교 전자공학과UU0000851  ); 조순철   (숭실대학교 전자공학과UU0000851  );
  • 초록

    본 연구에서는 ㎓ 대역의 박막 인덕터 특성을 수치해석 하였다. 인덕터의 기본 구조는 390 $\mu\textrm{m}$ ${\times}$ 390 $\mu\textrm{m}$ , 5.5턴(turn), 선폭 10 $\mu\textrm{m}$ 와 선간격 10 $\mu\textrm{m}$ 의 사각 나선형이다. 주파수 특성은 10 ㎓까지 시뮬레이션 하였다. 기판은 Si, Sapphire, 유리와 GaAs를 모델로 하였고 도체는 Cu이다. 도체의 두께는 2 $\mu\textrm{m}$ 로 고정하였다. 입력과 출력단자의 위치가 서로 반대가 되도록 하기 위하여 턴수는 n.5로 하였다. 기본 구조 인덕터는 초기 인덕턴스 13.0 nH,최대 인덕턴스 60.0 nH 그리고 공진주파수는 4.25 ㎓이었다. 기판의 유전상수가 증가하면 초기 인덕스는 거의 변화가 없으나 공진 주파수는 감소하였다. 인덕터의 턴수를 1.5에서 9.5로 변화시키면, 초기 인덕턴스는 2.9 nH며 16.9 nH로 포화되었으며 Q factor는 소폭 증가하였다. 인덕터의 선폭과 선간격을 증가시키면 초기와 최대 인덕턴스는 감소하였다. 공진 주파수는 증가하였으며, Q factor는 선폭과 선간격을 증가시키면 각각 증가와 감소를 나타내었다.


    In this research, characteristics of air core rectangular spiral type inductors of ㎓ band are numerical analyzed. The basic structure of inductors is a rectangular spiral having 390 ${\mu}{\textrm}{m}$ ${\times}$ 390 ${\mu}{\textrm}{m}$ size, 5.5 turns, line width of 10 ${\mu}{\textrm}{m}$ and line space of 10 ${\mu}{\textrm}{m}$ . Frequency characteristics were simulated up to 10 ㎓. The substrate was modeled as Si, Sapphire, glass and GaAs and the conductor as Cu. The thickness of the conductor was fixed at 2. The number of turns was n.5 to make the input and output terminals to be on the opposite sides. The initial inductance of the basic inductor structure was 13.0 nH, maximum inductance 60.0 nH and resonance frequency 4.25 ㎓. As the dielectric constant of the substrate was increased, the initial inductance varied only slightly, but the resonance frequency decreased considerably. As the number of turns was varied from 1.5 to 9.5, the initial inductance was increased linearly from 2.9 nH to 15.9 nH and, then, saturated at 16.9 nH. The Q factor increased only slightly. The line width and line space of inductors were varied from 5 ${\mu}{\textrm}{m}$ to 20 ${\mu}{\textrm}{m}$ , which resulted in the decrease of the initial and maximum inductances. But the resonance frequency was increased. Q factor displayed an increase and a decrease, respectively, when the line width and line space were increased.


  • 주제어

    ㎓ 대역 .   인덕터 .   공진 주파수 .   인덕턴스 .   유전상수.  

  • 참고문헌 (10)

    1. Hongrui Jiang;Ye Wang;Jer-Liang Andrew Yeh;Norman C. Tien , IEEE Trans. MTT / v.48,pp.2415,
    2. 김영학;송재성 , 한국자기학회지 / v.6,pp.179,
         
    3. M.Yamaguchi;M.Baba;K.Suezawa;T.Moizumi;K.I.Arai;A.Haga;Y.Shimada;S.Tanabe;K.Itoh , IEEE Trans. Mag / v.36,pp.3495,
    4. M.Yamaguchi;K.Suezawa;M.Baba;K.I.Arai;Y.Shimada;S.Tanabe;K.Itoh; , IEEE Trans. Mag / v.36,pp.3514,
    5. M.Yamaguchi;Makoto Baba;Ken-Ichi Arai , IEEE Trans. MTT / v.49,pp.2331,
    6. Yorgos K. Koutsoyannopoulos;Yannis Papananos , IEEE Trans. Circuits and Systems / v.47,pp.699,
    7. T.Inoue;K.Nishijima;Yatabe,S.;Mizoguchi;T.Sato , IEEE Trans. Mag / v.34,pp.1372,
    8. A.Gromov;V.Korenivski;K.V.Rao;R. B. van Dover;P.M.Mankiewich , IEEE Trans. Mag / v.34,pp.1246,
    9. V.Korenivski;van R. B. Dover , IEEE Trans. Mag / v.34,pp.1375,
    10. Keneth,O. , IEEE J. Solid-State Circuits / v.33,pp.1249,

 저자의 다른 논문

  • 김지원 (7)

    1. 1997 "전공식 콘트롤 밸브 Positioner 용 Magnet Unit의 해석" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 7 (6): 321~326    
    2. 2001 "Crosserase와 crosstalk이 DVD 재생 신호에 미치는 영향" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. CI, 컴퓨터 38 (4): 33~38    
    3. 2004 "스핀밸브를 이용한 데이터 전송용 GMR 아이솔레이터의 모델링" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 14 (3): 109~113    
    4. 2005 "스핀 밸브 Ta 하지층의 질소함유량 변화와 열처리 온도에 따른 자기적 특성" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 15 (4): 226~230    
    5. 2006 "MoN 하지층을 이용한 스핀밸브의 자기저항 특성" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 16 (5): 240~244    
    6. 2007 "Top형 스핀밸브구조에서 반강자성체 두께 변화에 따른 자기적 특성 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 17 (1): 22~25    
    7. 2007 "Top형 스핀밸브 구조의 Si 기판에서의 하지층 두께에 따른 자기저항 특성 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 17 (2): 95~98    
  • 조순철 (31)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기