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Growth of nickel-catalyzed carbon nanofibers using MPCVD method and their electrical properties

Kim, Sung-Hoon   (Department of Nano Materials Science & Engineering, Silla UniversityUU0000867  );
  • 초록

    Carbon nanofilaments were formed on silicon substrate via microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition method. The structure of carbon nanofilaments was identified as the carbon nanofibers. The extent of carbon nanofibers growth and the diameters of carbon nanofibers increased with increasing the total pressure. The growth direction of carbon nanofibers was horizontal to the substrate. Laterally grown carbon nanofibers showed the semiconductor electrical characteristics.


  • 주제어

    Carbon nanofibers .   Microwave plasma .   Total pressure effect .   Semiconductor characteristics .   Lateral growth.  

  • 참고문헌 (17)

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    4. Plasmainduced alignment of carbon nanotubes , C.Bower;W.Zhu;J.Sungho;O.Zhou , Appl. Phys. Lett. / v.77,pp.830,
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    17. Batch processing of nanometer-scale electrical circuitry based on in-situ grown single-walled carbon nanotubes , L.Marty;V.Bouchiat;A.M.Bonnot;M.Chaumont;T.Fournier;S.Decossas;S.Roche , Microelectronic Engineering / v.61,pp.485,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2006. "" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, 16(5): 198~202     

 저자의 다른 논문

  • 김성훈 (24)

    1. 1999 "Effect of hydrogen plasma treatment on the photoconductivity of free-standing diamond film" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 9 (4): 441~445    
    2. 2000 "투과 전자 현미경을 이용한 다이아몬드 박막과 실리콘 기판의 계면 연구" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 10 (2): 100~104    
    3. 2001 "다이아몬드 박막의 저온 선택 증착 향상" 대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society 45 (3): 286~288    
    4. 2001 "수소 플라즈마 에칭과 탄소 확산법에 의한 다이아몬드막 표면의 평탄화" 대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society 45 (4): 351~356    
    5. 2002 "수직으로 배향된 탄소 나노 튜브 다발의 형성" 대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society 46 (5): 467~476    
    6. 2003 "대나무 형 탄소 나노튜브에 의한 탄소나노튜브 섬의 연결" 대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society 47 (6): 659~662    
    7. 2003 "탄소 나노 튜브의 수직 배향에 대한 바이어스 인가 전압의 효과" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 13 (7): 415~419    
    8. 2003 "Competitive Growth of Carbon Nanotubes versus Carbon Nanofibers" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 40 (12): 1150~1153    
    9. 2004 "다이아몬드 막 특성 향상을 위한 CH4-H2-O2 플라즈마 내의 CH4 기체 유량의 시간 의존 싸이클릭 변조 프로세스" 대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society 48 (6): 663~666    
    10. 2004 "Field emission characteristics of carbon nanfiber bundles" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 14 (5): 211~214    

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