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Off-axis 펄스레이저 증착법으로 성장된 ZnO 나노구조에 관한 연구
ZnO Nanostructure Formed by Off-axis Pulsed Laser Deposition

강정석   (연세대학교 전기전자공학과UU0000936  ); 강홍성   (연세대학교 전기전자공학과UU0000936  ); 김재원   (연세대학교 전기전자공학과UU0000936  ); 이상렬   (연세대학교 전기전자공학과UU0000936  );
  • 초록

    ZnO nanostructures were formed on a Si substrate by off-axis pulsed laser deposition(PLD) system in which a substrate plane was tilted toward a plume propagation direction. Atomic force microscopy (AFM) showed islands of 20∼40 nm width. From the x-ray diffraction (XRD) pattern exhibiting only (002) ZnO peak, the islands observed in AFM image were found to well crystallized. Optical bandgap enlargement from 3.26 eV to 3.35 and 3.47 eV due to the quantum size effect of ZnO nanostructures were observed by Photoluminescence (PL) at room temperature.


  • 주제어

    ZnO nanostructure .   Pulsed laser deposition .   Off-axis PLD .   Quantum size effect.  

  • 참고문헌 (14)

    1. Current injection emission from a transparent pn junction composed of p-SrCu₂O₂/n-ZnO , H.Ohta;K.Kawamura;M.Orita;M.Hirano;N.Sarukura;H.Hosono , Appl. Phys. Lett / v.77,pp.475,
    2. S.V.GAPONENKO , Optical properties of Semiconductor Nanocrystals / v.,pp.30,
    3. Electrical and optical properties of boron-doped ZnO thin films for solar cells grown by metalorganic chemical vapor deposition , W.W.Wenas;A.Yamada;K.Takahashi , J. Appl. Phys. / v.70,pp.7119,
    4. Optical properties of ZnO rods formed by metalorganic chemical vapor deposition , B.P.Zhang;N.T.Binh;Segawa , Appl. Phys. Lett. / v.83,pp.1635,
    5. 펄스레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구 , 강홍성;강정식;심은섭;방성식;이상렬 , 전기전자재료학회논문지 / v.16,pp.65,
         
    6. The blue photoluminescence emitted from ZnO films deposited on glass substrate by rf magnetron sputtering , X.Y.Xue;D.H.Zhang;Q.P.Wang;J.H.Wang , Applied Surface Science / v.195,pp.126,
    7. Control of morphology and orientation of ZnO thin films grown on SiO₂/Si substrates , S.Muthukumar;C.R.Gorla;N.W.Emanetoglu;S.Liang;Y.Lu , J. Cryst Growth / v.225,pp.197,
    8. PLD 중착 변수에 따른 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 ZnO 반도체 박막의 발광특성 연구 , 배상혁;윤일구;서대식;명재민;이상렬 , 전기전자재료학회논문지 / v.14,pp.246,
         
    9. Self-organized ZnO quantum dots on SiO₂/Si substrates by metalorganic chemical vapor deposition , S.W.Kim;S.Fujita;S.Fujita , Appl. Phys. Lett / v.81,pp.5036,
    10. The effect of Zn butter layer on growth and luminescence of ZnO films deposited on Si substrates , Z.Fu;B.Lin;G.Liao;Z.Wu , J. Cryst. Growth / v.193,pp.316,
    11. Band-edge photoluminescence in plycrstalline ZnO films at 1.7 , S.A.Studenikin;Michael Cocivera;W.Kellner;H.Pascher , Journal of luminescence / v.91,pp.223,
    12. Control of preferred orientation for ZnOx films: control of self-texture , N.Fujimura;T.Nishhara;S.Goto;J.Xua;T.Ito , J. Cryst. Growth / v.130,pp.269,
    13. Enhancement of exciton binding energies in ZnO/ZnMgO multiquantum wells , H.D.Sun;T.Makino;Y.Segawa;M.Kawasaki;A Othtoo;K.Tamura;H.Koinuma , J. Appl. Phys. / v.91,pp.1993,
    14. ZnO 박막의 두께변화에 따른 광학적 특성변화 연구 , 심은섭;강홍성;강정식;김종훈;이상렬 , 한국전기전자재료학회 2001 하계학술대회논문집 / v.,pp.135,

 저자의 다른 논문

  • Kang, Jeong-Seok (3)

    1. 2002 "p-n Heterojunction Composed of n-ZnO/p-Zn-doped InP" Transactions on electrical and electronic materials 3 (1): 1~3    
    2. 2003 "펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 16 (1): 65~69    
    3. 2004 "펄스레이저 증착법에서 기판-플룸 각 변화가 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 영향" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (3): 329~332    
  • 강홍성 (3)

  • 김재원 (1)

  • 이상렬 (24)

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