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RE Magnetron Sputtering에 의해 제조된 HAp와 HAp-Ag복합코팅층의 미세조직
Microstructures of HAp and HAp-Ag Composite Coating Layer Prepared by RS Magnetron Sputtering

Lee, Hee-Jung   (School of Advanced Materials Engineering, Kongju National UniversityUU0000178  ); Oh, Ik-Hyun   (School of Advanced Materials Engineering, Kongju National Universit  ); Park, Sang-Shik   (Department of Advanced Materials Engineering, Sangju National Universit  ); Lee, Byong-Taek   (School of Advanced Materials Engineering, Kongju National UniversityUU0000178  );
  • 초록

    RF magnetron sputtering법에 의해 단상의 하이드록시아파타이트와 하이드록시아파타이트은 복합코팅층을 ZrO $_2$ 와 Si 웨이퍼 기판에 코팅하였다. 이들 코팅층들의 두께 0.7∼1.0 $\mu\textrm{m}$ 범위였으며 또한 거칠기(roughness)는 3∼4nm였다. 열처리된 HAp 코팅층은 나노크기의 결정들로 구성되어 있었으며, 반면 Ag가 함유된 복합코팅층의 경우 결정질과 비결정질이 혼재되어 있었다. 열처리 전 HAp 코팅층의 Ca/P비는 1.9였고, Ag의 함량이 증가함에 따라 비는 감소하는 경향을 나타내었다. 또한 Ag 함량이 증가함에 따라 HAp코팅층의 미소 경도는 감소하였다.


    Hydroxyapatite (HAp) and HAp-Ag composite layers were coated on ZrO $_2$ and Si wafer substrates by RF magnetron sputtering technique. The thickness of coating layers was in the range of 0.7∼1.0 $\mu\textrm{m}$ and its roughness was 3∼4nm. The heat treated HAp coating layers were composed with nano-sized crystallines. However, the HAp-Ag composite layers showed the mixed structure with crystalline and amorphous phases. The Ca/P ratio of the as-received HAp coating layer was 1.9, but, the value was decreased as the Ag content with increased. Also, the Vickers hardness of HAp coating layer decreased as the Ag content increase.


  • 주제어

    RF magnrtron sputtering .   Hydroxyapatite coating .   Ag coating .   Si microstuctute.  

  • 참고문헌 (18)

    1. Microstructure and Mechanical Properties of Hydroxyapatite Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering , V.Nelea;C.Morosanu;M.Iliescu;I.N.Mihailescu , Surf. and Coatings Tech. / v.173,pp.315-322,
    2. Structure, Bonding State and In-Vtro Study of Ca-P-Ti Film Deposited on Ti6A14V by RF Magnetron Sputtering , J.D.Long;S.Xu;J.W.Cai;N.Jiang;J.H.Lu;K.N.Ostrikov;C.H.Diong , Mater. Sci. and Eng. / v.C20,pp.175-180,
    3. Study of the Ca/P Atomic Ratio of the Amorphous Phase in Plasma-Sprayed Hydroxyapatite Coatings , M.T.Carayon;J.L.Lacout , J. of Solid State Chem / v.172,pp.339-350,
    4. Crystallization, Fluoridation and Some Properties of Apatite Thin Films Prepared through RF-Sputtering from $CaOP_2O_5$ Glasses , K.Yamashita;M.Matsuda;T.Arashi;T.Umegaki , Biomaterials / v.19,pp.1239-1244,
    5. Influence of Ar Pressure on R.F. Magnetron-Sputtered $Ca_5(PO_4)_3OH$ Layers , K.Van Dijk;H.G.Schaeken;C.H.M.Maree;J.Verhoeven;J.C.G.Wolke;F.H.P.M.Habraken;J.A.Jansen , Surf. and Coatings Tech. / v.76-77,pp.206-210,
    6. XPS, EDX, and FTIR Analysis of Pulsed Laser Deposited Calcium Phosphate BioCeramic Coatings: The Effects of various Process Parameters , H.Zeng;W.R.Lacefield , Biomaterials / v.21,pp.23-30,
    7. Phase Composition of Sputtered Films from a Hydroyapatite Target , K.Ozeki;T.Yuhta;Y.Fukui;H.Aoki , Surf. and Coatings Tech. / v.160,pp.54-61,
    8. Various Ca/P Ratio of Thin Calcium Phosphate Films , I.S.Lee;C.N.Whang;H.E.Kim;J.C.Park;J.H.Song;S.R.Kim , Mater. Sci. and Eng. / v.C22,pp.15-20,
    9. Bioactive Delivery Systems for the Slow Release of Antibiotics: Incorporation of $Ag^+$ Ions into Micor-Porous Hydroxyapatite Coatings , M.Shirkhanzadeh;M.Azadegan;G.Q.Liu , Mater. Lett. / v.24,pp.7-12,
    10. Sintering Effects on Mechanical Properties of Biologically Derived Dentine Hydroxyapatite , G.Goller;F.N.Oktar , Mater. Lett. / v.56,pp.142-147,
    11. Antibacterial Effects of Ag-HAp Thin Films on Alumina Substrates , Q.L.Feng;T.N.Kim;J.Wu;E.S.Park;J.O.Kim;D.Y.Lim;F.Z.Cui , Thin Solid Films / v.335,pp.214-219,
    12. Influence of Annealing Temperature on RF Magnetron Sputtered Calcium Phosphate Coatings , K.van Dijk;H.G.Schaeken;J.G.C.Wolke;J.A.Jansen , Biomaterials / v.17,pp.405-410,
    13. Fabrication of $HAp-ZrO_2(3Y)$ Nanocomposite by SPS , W.Li;L.Gao , Biomaterials / v.24,pp.937-940,
    14. Electrodeposition of Hydroxyapatite Coatings in Basic Conditions , M.Manso;C.Jimenez;C.Morant;P.Herrero;J.M.Martinez Duart , Biomaterials / v.21,pp.1755-1761,
    15. Microwave Processing of Fundtionally Graded Bioactive Materials , S.Katakam;D.S.R.Krishna;T.S.S.Kumar , Mater. Lett. / v.57,pp.2716-2721,
    16. Hydroxyapatite Orbital Implants , A.Mcnab , Aust. NZJ. Opthalmol. / v.23,pp.117-127,
    17. Radio Frequency(RF) Suspension Plasma Sprayed Ultra-Fine Hydroxyapatite(HA)/Zirconia Composite Powders , R.Kumar;P.Cheang;K.A.Khor , Biomaterials / v.24,pp.2611-2621,
    18. Plused Laser Deposition and Processing of Biocompatible Hydroxylapatite Thin Films , C.M.Cotell , Appl. Surf. Sci. / v.69,pp.140-148,

 저자의 다른 논문

  • 이희정 (3)

    1. 2001 "$TiO_2$ 피복 석탄회의 제조와 광촉매 특성에 관한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 11 (8): 690~696    
    2. 2005 "폐 SiC 슬러지를 이용하여 제조한 연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세조직" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 15 (3): 177~182    
    3. 2006 "연속다공질 SiC-Si3N4 복합체의 미세구조 및 기계적 특성" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 16 (3): 188~192    

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