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ECR-MOCVD에 의해 연성 고분자 기판에 제조된 구리막의 균일도에 전극의 형태가 미치는 영향
Effects of electrode configurations on uniformity of copper films on flexible polymer substrate prepared by ECR-MOCVD

전법주   (한국과학기술연구소CC0186926  ); 이중기   (한국과학기술연구소CC0186926  );
  • 초록

    Copper films were prepared by using ECR-MOCVD(Electron Cyclotron Resonance Metal Organic Chemical Vapor Deposition) coupled with a DC bias system. The DC bias is connected to the electrode which placed 1∼3cm above the polymer substrate. The pulse electrical field around the electrode attracts the positive charged copper ions generated from the dissociation of copper precursor, $Cu(hfac)_2$ , under ECR plasma. Condensation of supersaturated copper ions in the space between the electrode and substrate, makes it possible to deposit copper film on the polymer substrate even at room temperature. In this study, optimization of the electrode configuration was carried out in order to obtain the uniform films. The uniformity of the deposited films were closely related to the parameters of electrode geometry such as electrode shape, thickness, grid size and the spacing between electrodes. The most uniform copper film was observed with the electrode that enabled uniform electrical field distribution across the whole dimension of electrode.


  • 주제어

    전자회전공명 .   유기금속화학증착 .   직류전압 .   균일도 .   전극 .   표면저항.  

  • 참고문헌 (13)

    1. Naomi, j., Milutin, S., Chris, L. and Claude, R., 'Vacuum metal deposition: factors affecting normal and reverse development of latent fingerprints on polyethylene substrates', Forensic Science International, 115, 2001, pp.73-88 
    2. Bertrand, P., Lambert, P. and Travaly, Y., 'Polymer metallization : Low energy ion beam surface modification to improve adhesion', Nuclear Instruments and methods in Physics, B131, 1997, pp.71-78 
    3. Schiller, S., Kirchhoff, V., Schiller, N. and Morgner, H., 'PVD coating of plastic webs and sheets with high rates on large areas', Surface and Coatings Technology, 125, 2000, pp.354 - 360 
    4. Zhang, D.H., Gao, Y., Wei, J. and Mo., Z.Q., 'nfluence of silane partial pressure on the properties of amorphous SiCN films prepared by ECR-CVD', Thin Solid Films, 377-378, 1997, pp.607- 610 
    5. Kawai, Y. and Deda Y., 'Electromagnetic wave propagation in an ECR plasma', Surface and Coating Technology, 131, 2000, pp.12-19 
    6. Yoshinobu, K. and Yoko, U., 'Electromagnetic wave propagation on an ECR plasma', Surface and Coatings Technology, 131, 2000, pp.12-19 
    7. Andrea, E.P., Krisztian, K., Heli, j., Esa, H. and Seppo, L., 'Copper plating on and elecreical investigation of a low permittivity cycloolefin-copolymer', Polymer Testing, 22, 2003, pp.657- 661 
    8. Bertrand, P., Lambert, P. and Travaly, Y., 'Polymer metallization: Low energy ion beam surface modification to improve adhesion, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms', Nucl. Instrum. Methods, B 131, 1997, pp.71-78 
    9. Riester, M., Barwulf, S., Lugscheider, E. and Hilgers, H., "Composition of the interface region of sputtered titanium nitride thin films on thermoplastic polymers", Surface and Coatings Technology, 116-119, 1999, pp.1179 -1182 
    10. Fortunato, E., Nunes, P., Marques, A., Costa, D., Aguas, H., Ferreira, I., Costa, M.EV., Godinho, M. H., Almeida, P. L., Borges, J. P. and Martins, R., 'Transparent, conductivity ZnO:Al thin film deposited on polymer ssubstratesby RF magnetron sputtering', Surface and Coatings Technology, 151-152, 2002, pp.247 - 251 
    11. Stefan, G., Tobias, M. and Rolf, W., 'Thick metallization-layers on polymers through vacuum-technology', Surface and Coatings Technology, 169-170, 2003, pp.24 - 26 
    12. Wen, X., Zhou, K., Zhang, Y., and Cao, W., "Structure and properties of Fe-containing polymer composite films prepared by PEMOCVD' Thin Solid Films, 303, 1997, pp.146-150 
    13. Lugscheider, E., Barwulf, S., Riester M. and Hilgers, H., "Magnetron sputtered titanium nitride thin films on thermoplastic polymers", Surface and Coatings Technology, 116-119, 1999, pp.1172 -1178 

 저자의 다른 논문

  • 전법주 (6)

    1. 2003 "상온 ECR-MOCVD에 의해 제조되는 Cu/C박막특성" 韓國軍事科學技術學會誌 = Journal of the KIMST 6 (3): 44~53    
    2. 2004 "PECVD법으로 구리 막 위에 증착된 실리콘 박막의 이차전지 음전극으로서의 전기화학적 특성" 전기화학회지 = Journal of the Korean Electrochemical Society 7 (4): 173~178    
    3. 2004 "PET 기질의 전처리효과가 상온 ECR 화학증착법에 의해 증착된 구리박막의 계면접착력에 미치는 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 14 (3): 203~210    
    4. 2005 "실리콘이 코팅된 흑연의 열처리 효과에 따른 전기화학적 특성에 대한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 15 (1): 66~72    
    5. 2005 "연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 15 (7): 465~472    
    6. 2005 "PET 기판상에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 투명도전막의 특성" 화학공학 = Korean chemical engineering research 43 (1): 85~91    
  • Lee, Joong Kee (33)

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