본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

웨이퍼 다이 위치 인식을 위한 명암 영상 코너점 검출
Comer Detection in Gray Lavel Images for Wafer Die Position Recognition

나재형   (숭실대학교 컴퓨터학과UU0000851  ); 오해석   (경원대학교 소프트웨어대학UU0000122  );
  • 초록

    본 논문에서는 웨이퍼 영상에서 다이 위치를 인식하기 위한 새로운 코너점 검출 방법을 제안한다. 웨이퍼 다이 위치 인식은 WSCSP(Wafer Scale Chip Scale Packaging)기술에 필수적인 과정으로서 웨이퍼 윗면의 다이 패턴을 얼마나 정확히 인식하느냐에 따라서 후 공정의 정확도가 결정된다. 본 논문에서는 정확한 다이 위치를 인식하기 위하여 계층적 명암 영상 코너 검출 방법을 제안한다. 새로운 코너 검출자는 코너 영역을 마스크 크기에 따라서 동심원으로 나누어 각각의 동심원에서의 코너성과 방향성을 구하여 정확한 코너점을 검출하도록 하였다. 또한 계층적 구조를 가지고 처리하여 기존의 명암 영상코너 검출자 보다 더 빠른 처리 속도를 얻을 수 있도록 하였다.


    In this paper, we will introduce a new corner detector for the wafer die position recognition. The die position recognition procedure is necessary for WSCSP(Wafer Scale Chip Scale Packaging) technology, decide the accuracy of post-procedure. We present a hierarchical gray level corner detection method for the recognition of the die position from a wafer image. The new corner detector divides the corner region into many homocentric circles, and calculates the comer response and the angle of direction about each circle to get an accurate toner point. The new corner detector has a hierarchical structure so it can detect comer point more quickly than general gray level corner detector.


  • 주제어

    웨이퍼 .   다이 .   패턴인식 .   코너점 추출.  

  • 참고문헌 (12)

    1. Hobby, J., 'Using Shape and Layout Information to Find Signatures, Text, and Graphics,' Computer Vision and Image Understanding, Vol.80, pp. 88-110, 2000 
    2. Arrebola, F., Bandera, A., Camacho, P. and Sandoval, F., 'Comer detection by local histograms of contour chain code,' Electronics Letters, Vol.33, No.21, pp, 769-1771, 1997 
    3. Mokhtarian, F. and Mohanna, F., 'Enhancing the curvature scale space corner detector,' In Proc 12th Scandinavian Conference on Image Analysis, pp. 145-152, 2001 
    4. Wang, H. and Brady, M., 'Real time corer detection algorithm for motion estimation,' Image and Vision Computing, vol.13, No.9, pp. 695-703, 1995. 
    5. Mokhatian, F. and Suomela, R, 'Robust image comer detection through curvature scale space,' IEEE Trans on Pattern Analysis and Machine Intelligence, Vol.20, No.12, pp. 1376-1381, 1998 
    6. Resenfeld, A. and Johnston, E., 'Angle detection on digital curves,' IEEE Trans. Compters, Vol.22, pp. 875-878, 1973 
    7. Rosin, P., 'Techniques for assessing polygonal approximations of curve,' IEEE Transactions on Pattern Recognition and Machine Intelligence, Vol.19, No.6, pp. 659-666, 1997 
    8. Zheng, Z., Wang, H. and Teoh, K., 'Analysis of gray level comer detection,' Pattern Recognition Letters, Vol.20, pp. 149-162, 1999 
    9. Smith, S. and Brady M., 'SUSAN - a new approach to low level image processing,' International Journal of Computer Vision, Vol.23, No.1, pp. 45-78, 1997 
    10. Arrebola, F., Camacho, P., Bandera, A. and Sandoval, F., 'Comer detection and curve representation by circular histograms of contour chain code,' Electronics letters, Vol.35, No.13, pp. 1065-1067, 1999 
    11. Harris, C. and Stephens, M., 'A Combined Comer and Edge Detector,' in Proc. 4th Alvey Vision Comference, pp. 189-192, 1988 
    12. 정정훈, 정윤용, 홍현기, 조청운, 백준기, 최종수, '스테레오 비젼을 위한 다해상도 코너 검출', 대한전자공학회 하계종합학술대회, 2002년 6월, 강원도     
  • 이 논문을 인용한 문헌 (3)

    1. 2004. "Comer Detection in Gray Lavel Images for Wafer Die Position Recognition" 정보과학회논문지. Journal of KIISE. 소프트웨어 및 응용, 31(6): 792~798     
    2. KIM EUNSEOK ; WANG GI-NAM 2005. "The Area Segmentation Pattern Matching for COG Chip Alignment" 한국해양정보통신학회논문지 = The journal of the Korea Institute of Maritime Information & Communication Sciences, 9(6): 1282~1287     
    3. JOO KISEE ; Jeong Jong-Myeon 2006. "The Faulty Detection of COG Using Image Registration" 한국해양정보통신학회논문지 = The journal of the Korea Institute of Maritime Information & Communication Sciences, 10(2): 308~314     

 저자의 다른 논문

  • 나재형 (1)

    1. 2004 "새로운 그레이 레벨 코너점 검출 방법" 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 통신이론 및 시스템 29 (c8): 1062~1068    

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠
이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기