본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

산소분압의 변화에 따른 ITO/polymeric 박막의 특성
Characteristics of ITO/polymeric Films with Change of Oxygen Partial Pressure

신성호   (기술표준원 에너지자원 표준과CC0136134  ); 김현후   (두원공과대학 전자과UU0000519  );
  • 초록

    Transparent conducting indium tin oxide (TC-ITO) thin films on polymeric substrates have been deposited by a dc reactive magnetron sputtering without heat treatments. The polymeric substrates are acryl (AC), poly carbornate (PC), and polyethlene terephthalate (PET) as well as soda lime glass is also used to compare with the polymeric substrates. Sputtering parameters are an important factor for high quality of TC-ITO thin films prepared on polymeric substrates. Furthermore, the material, electrical and optical properties of as-deposited ITO films are dominated by the ratio of oxygen partial pressure. As the experimental results, the surface roughness of ITO films becomes rough as the oxygen partial pressure increases. The electrical resistivity of as-deposited ITO films decreases initially, and then increases with the increase of oxygen partial pressure. The optical transmittance at visible wavelength for all polymeric substrates is above 82 %.


  • 주제어

    Indium tin oxide .   Polymeric substrate .   Oxygen partial pressure .   Magnetron sputtering.  

  • 참고문헌 (10)

    1. Electrical, Optical, and structural properties of induum-tin-oxide thin films deposited on PET substrates by rf sputtering , A. Kulkarni;T. Lim;M. Khan;K. Schulz , J. Vac. Sci. Technol. / v.A16,pp.1636,
    2. Electrical and optical properties of ITO thin films deposited on unheated substrates by dc reactive sputtering , T, Karasawa;Y. Miyata , Thin Solid Films / v.223,pp.135,
    3. Figure of merit for deposition conditions in ITO films , H.H.Kim;M.J.Cho;W.J.Choi;J.G.Lee;K.J.Lim , Trans. EEM. / v.3,pp.6,
         
    4. 고분자 필름을 이용한 폴리이미드 표면에서의 프리틸트각 발생 , 박준백;황정연;서대식;박성규;문대규;한정인 , 전기전자재료학회논문지 / v.16,pp.1115,
         
    5. Deposition of indium tin oxide films on polycarbonate substrates by radio-frequency magnetron sputtering , W. Wu;B. Chiou , Thin Solid Films / v.298,pp.221,
    6. Physics of very thin ITO conducting films with high transparency prepared by dc magnetron sputtering , T. Minami;H. Sonohara;T. Kakumu;S. Takata , Thin Solid Films / v.270,pp.37,
    7. 방전 플라즈마 해석을 통한 PDP용 ITO 투명전도막의 제작 및 특성 , 곽동주;조문수;박강일;임동건 , 전기전자재료학회논문지 / v.16,pp.902,
         
    8. Techniques for the sputtering of optimum indium-tin-oxide films on to room-tem-perature substrates , N.Danson;I.Safi;G.Hall;R.Howson , Surf. Coatings Technol. / v.99,pp.214,
    9. Mechanical properties of rf magnetron sputtered indium tin oxide films , W. Wu;B. Chiou , Thin Solid Films / v.293,pp.244,
    10. Properties of dc magnetron sputtered indium tin oxide films on polymeric substrates at room temperature , J. H. Shin;S. H. Shin;J. I. Park;H. H. Kim , J. Appl. Phys. / v.89,pp.5199,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Cheon, Ko-Eun ; Lee, Dong-Yeop ; Cho, Young-Rae ; Song, Pung-Keun 2007. "Effects of Reactive Gas Addition on the Mechanical Property and Water Permeability of IZO Films Deposited by DC Sputtering for Application to Flexible OLED" 한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, 40(6): 245~249     

 저자의 다른 논문

  • 신성호 (9)

    1. 1999 "스퍼터의 산소분압비율에 의존한 ITO/PET박막의 조절" 한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering 32 (6): 671~676    
    2. 2000 "상온에서 분말타겟의 스퍼터에 의해 증착된 ITO박막" 한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering 33 (5): 349~355    
    3. 2003 "철소지 위에 형성된 니켈 및 니켈-크롬 도금층의 염수분무, 캐스, 전해부식시험법을 이용한 내식성평가" 한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering 36 (4): 307~316    
    4. 2003 "유럽의 신뢰성평가 기술현황" 기술표준= The Monthly technology & standards 14 (): 41~46    
    5. 2003 "금속제품의 복합부식 시험. 평가 방법 표준화" 기술표준= The Monthly technology & standards 14 (): 85~98    
    6. 2003 "주요 KS 제.개정해설-원통 밀폐형 니켈.카드뮴 축전지" 기술표준= The Monthly technology & standards 20 (): 22~23    
    7. 2004 "차세대전지 분야 국제표준화 추진계획" 기술표준= The Monthly technology & standards 33 (): 17~25    
    8. 2005 "태양광 분야 인증을 위한 표준개발 동향" 기술표준= The Monthly technology & standards 37 (): 37~44    
    9. 2006 "태양광발전(PV)시스템 구축사업" 기술표준= The Monthly technology & standards 49 (): 43~52    
  • 김현후 (14)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
  • 전기전자재료학회논문지 : 저널
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기