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열처리조건이 LaNiO3 졸-겔 박막의 배향성과 구조 및 저항성에 미치는 영향
Effect of Heat-treatment Conditions on Orientation, Structures and Resistances of LaNiO3 Thin Films by Sol-gel process

박민석   (부경대학교 전자공학과UU0000598  ); 김대영   ((주)유니CC0157093  ); 서병준   (부경대학교 전자공학UU0000598  ); 김강언   (부경대학교 전자공학UU0000598  ); 정수태   (부경대학교 전자공학과UU0000598  );
  • 초록

    LaNiO $_3$ (LNO) thin films on (100) Si substrates are prepared by sol-gel method on heat treatment conditions, such as heat transfer direction, pyrolysis and annealing process, and annealing temperatures and times. The effect of heat treatment conditions on the (100) orientations, structures and resistances of the thin films are investigated by XRD, SEM(FESEM), and a lout probe method. Highly (100) orientation factor(0.97), a pseudocubic crystalline structure with a dense and uniform microstructure could be formed by the following conditions: 1) the heat transfer direction is from Si substrate to LNO, 2) the pyrolysis and annealing process are alternated, 3) the annealing temperature is $650^{\circ}C$ and 4) the annealing times is 3 minutes. The sheet resistance of thin films decreased with increasing of a annealing temperature and time, and a number of coating.


  • 주제어

    Orientation .   ${LaNiO}_3$ .   Thin film .   Sol-gel.  

  • 참고문헌 (15)

    1. La203-NiO의 메카노케미컬 합성에 의한 LaNiO3결정상 생성 , 김대영;김강언;이명교;정수태 , 전자재료학회논문지 / v.16,pp.681,
    2. Effect of thermal annealing on transparent conductive LaNiO3 thin film prepared by an aqueous method , T. Liu;N. Xu;X. G. Zheng;T. Watanabe;O. Agye man;M. Akiyama , J. of Mater. Sci. / v.35,pp.937,
    3. Conductiong lanthanum nickel oxide as electrodes for lead zirconate titanate films , Y. Zhang;Q. F. Zhou;H. L. W. Chan;C. L. Choy , Thin Solid Films / v.375,pp.87,
    4. Growth of (100)-oriented LaTiO3 thin films directly on Si substrates by a simple metalorganic de-composition technique for the highly oriented PZT thin films , X. J. Meng;J .G. Cheng;J. L. Sun;H. J. Ye;S. L. Guo;J. H. Chu , J. Crystal Growth / v.220,pp.100,
    5. Epitaxial growth of conductive LaNiO3 thin films by pulsed laser ablation , T. Yu;Y. F. Chen;Z. G. Lin;X. Y. Chen;L. Sun;N. B. Ming;L. J. Shi , Mater. Lett. / v.26,pp.73,
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    7. Preparation of highly (100)-oriented matallic LaNiO3 films on Si substrates by a modified metalorganic decomposition technique , X. J. Meng;J. L. Sun;J.Yu;H. J. Ye;S. L. Guo;J. H. Chu , Applied Surface Science / v.171,pp.68,
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    10. Domain formation and strain relaxation in epitaxial ferroelectric heterostructures , B. S. Kwak;A. Erbil;J. D. Budai;M. F. Chisholm;L. A, Boatner;B. J. Wilkens , Physical review B / v.49,pp.14865,
    11. 분쇄방식에 다른 LaAlO3 세라믹의 합성과 유전특성 , 조정호;최상수;김강언;정수태;조상희 , 전기전자재료학회논문지 / v.15,pp.238,
    12. X-ray line broadening from filed aluminium and wolfram , G. K. Williamson;W. H. Hall , Acta Metallurgica / v.1,pp.22,
    13. W. D. Kingery;H. K. Bowen;D. R. Uhlmann , Introduction to Ceramics (2th) / v.,pp.381,
    14. Kasturi L. Chopra , Thin Film Phenmena / v.,pp.345,
    15. Formation of highly oriented and polycrystalline lathanum nickelate films by a spin coating pyrolysis process , Kyu-Seog Hwang;Seon-Suk Min;Yeong-Joon Park , Sur-face and coatings technology / v.137,pp.20,

 저자의 다른 논문

  • 서병준 (2)

    1. 2004 "고에너지 볼 밀에 의한 LaAlO3 세라믹스의 제조와 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (1): 39~45    
    2. 2005 "LaNiO3의 (100)배향성이 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 결정성장과 강유전성에 미치는 영향" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 18 (4): 338~343    
  • 김강언 (8)

  • 정수태 (22)

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