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Determination of the Optical Functions of Various Liquids by Rotating Compensator Multichannel Spectroscopic Ellipsometry

Bang, Kyung-Yoon    (Department of Applied Physics, Hanyang University   ); Lee, Seung-Hyun    (Department of Chemistry, Hanyang University   ); Oh, Hye-Keun    (Department of Applied Physics, Hanyang University   ); An, Il-Sin    (Department of Applied Physics, Hanyang University   ); Lee, Hai-Won    (Department of Chemistry, Hanyang University  );
  • 초록

    Rotating compensator multichannel spectroscopic ellipsometry has been employed to determine the optical functions of various liquids used in chemistry. We attempted three different measurement configurations: (1) air-liquid interface, (2) prism-liquid interface, and (3) liquid-sample interface. In prism-liquid interface, we found that the prism surface had roughness and it should be considered in analysis for accurate results. In liquidsample interface, we had much higher reflection, better sensitivity, and less limitation compared to the other two configurations when crystalline silicon was used as reference sample. We discuss the merit of each configuration and present the optical functions of various liquids. Also we demonstrate Bruggeman effective medium theory to determine the optical properties of mixed liquid.


  • 주제어

    Spectroscopic ellipsometry .   Liquid refractive index.  

  • 참고문헌 (21)

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 저자의 다른 논문

  • 방경윤 (3)

    1. 2003 "Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometer의 개발 및 응용" 한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology 2 (2): 1~4    
    2. 2004 "Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용" 반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology 3 (1): 31~34    
  • 오혜근 (7)

  • 안일신 (14)

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