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Journal of the Optical Society of Korea v.9 no.1, 2005년, pp.22 - 25   피인용횟수: 1

High Precision Measurement of 3D Profile Using Confocal Differential Heterodyne Interferometer

Kim Taejoong    (Dept. of Mechanical Engineering KAIST   ); Lee SeungWoo    (Dept. of Mechanical Engineering KAIST   ); Gweon Dae-Gab    (Dept. of Mechanical Engineering KAIST  );
  • 초록

    The differential heterodyne interferometer (DHI) is suitable for precise measurement of step height and line width, since its differential configuration can significantly reduce disturbances from the environment [1,2]. Like most phase measuring interferometers, however, the DHI is limited, in that it can obtain only the phase from 0 to 2π, because of the sinusoidal nature of the optical interference involved. Thus, the measurable step height is limited to one quarter of the wavelength of the light source. This study describes a confocal differential heterodyne interferometer (CDHI) for measuring step heights of several micrometers, with a high resolution and line width with high repeatability. The CDHI has a simple structure and rapid measurement speed.


  • 참고문헌 (4)

    1. H. J. Tiziani, N. Maier, and A. Rothe, 'Scanning differential-heterodyne interferometer with acousto-optic deflectors,' Optics communications, vol. 123, no.1/3, pp. 34-40. 
    2. S. H. Lu, C. I. Chiueh, and C. C. Lee, 'Differential wavelength-scanning heterodyne interferometer for measuring large step height,' Applied Optics, vol. 41, no. 28, pp. 5866-5871 
    3. H. Chung, 1. M. Walpita, and William S. C. Chang, 'Simplified differential phase optical microscope,' Applied Optics, vol. 25, no. 18, pp. 3014-3017 
    4. H. J. Tiziani, A. Rothe, and N. Maier, 'Dual-wavelength heterodyne differential interferometer for high-precision measurements of reflective aspherical surfaces and step heights,' Applied Optics, vol. 35, no. 19, pp. 3525-3533 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2006. "" Journal of the Optical Society of Korea, 10(3): 130~142     

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