본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

광화학 반응을 이용한 레이저 미세가공 기술

정성호   (광주과학기술원 기전공학과UU0000201  );
  • 초록

    초록이 없습니다.


 저자의 다른 논문

  • 정성호 (28)

    1. 2000 "고출력 레이저 어블레이션에 의한 실리콘 가공시 발생하는 상폭발 현상에 관한 연구" 한국레이저가공학회지 = Journal of Korean Society of Laser Processing 3 (3): 39~45    
    2. 2001 "레이저 미세가공의 원리 및 현상" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 50 (5): 22~28    
    3. 2002 "레이저 국소증착법에 의한 탄소 미세 구조물의 제조시 성장특성에 관한 연구" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 19 (7): 106~115    
    4. 2003 "펨토초 레이저를 이용한 초정밀 가공의 원리 및 현상" 광학과 기술 = Optical science and technology 7 (2): 21~26    
    5. 2003 "Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석" 한국레이저가공학회지 = Journal of Korean Society of Laser Processing 6 (3): 11~17    
    6. 2004 "마이크로광조형법을 이용한 미세삼차원구조물의 제조공정 중 형상정밀도 및 경화특성에 관한 연구" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 21 (1): 46~50    
    7. 2004 "레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 21 (4): 32~38    
    8. 2004 "He-Cd 레이저와 근접장현미경을 이용한 폴리머박막 나노리소그라피 공정의 특성분석" 한국레이저가공학회지 = Journal of Korean Society of Laser Processing 7 (3): 37~46    
    9. 2005 "레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD회로 수정5 미세 텅스텐 패턴 제조" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 22 (8): 165~173    
    10. 2005 "레이저 응용을 위한 광학 기초" 광학세계 = The optical journal 100 (): 18~20    

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기