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재사용 가능한 100nm급 패턴의 퀄츠 마스터 제작 및 퀄츠 마스터를 사용한 사출성형실험
Fabrication of Nanoscale Reusable Quartz Master for Nano Injection Molding Process

최두선   (한국기계연구원CC0007559  ); 이준형   (한국기계연구원CC0007559  ); 유영은   (한국기계연구원CC0007559  ); 제태진   (한국기계연구원CC0007559  ); 황경현   (한국기계연구원CC0007559  ); 서영호   (한국기계연구원 나노공정그룹CC0007559  );
  • 초록

    In this paper, we present reusable quartz master fabricated by electron-beam lithography and dry etching process of quartz, and results of injection molding based on the reusable quartz master for the manufacturing of nano-scale information media. Since patterned structures of photoresist can be easily damaged by separation (demolding) process of nickel stamper and master, a master with photoresist cannot be reused in stamper fabrication process. In this work, we have made it possible of the repeated use of master by directly patterning on quart in nickel stamper fabrication process. We have designed and fabricated four different specimens including 100nm, 140nm 200nm and 400nm pit patterns. In addition, both intaglio and embossed carving patterns are fabricated for each specimen. In the preliminary test of injection molding, we have fabricated polycarbonate patterns with varying mold temperature. We have experimentally verified the fabrication process of the reusable quart master and possibility of quartz master as direct stamper.


  • 주제어

    재사용 스탬퍼 .   사출 성형 .   퀄츠 마스터 .   E-beam 리소그래프.  

  • 참고문헌 (3)

    1. Lehmann, E, Richter, G, Borzenko, T., Hock, V., Schmidt, G and Molenkamp, L.W., 2003, 'Fabrication of sub-I O-nm Au-Pd Structures Using 30 ke V Electron Beam Lithography and Lift-off,' Microelectronic Engineering, Vol. 65, pp. 327-333 
    2. Alexei L, Bogdanov, Tommy Holmqvist, Piotr jedrasik and Bengt Nilsson, 2003, 'Dual Pass Electron Beam Writing of Bit Arrays with Sub-100 nm Bits on Imprint Lithography Masters for Patterned Media Production,' Electronic Materials, Vol. 67-68, pp. 381-389 
    3. Sumio Hosaka, Hayato Sone, Yoshitaka Takahashi, Toshimichi Shintani, Keizo Kato and Toshiharu Saiki, 2003, 'SNOM Imaging of very Fine Pits Formed by EB Lithography of Ultrahigh Density Optical Recording,' Microelectronic Engineering, Vol 67-68, pp.728-735 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Oh, Seung-Hun ; Choi, Doo-Sun ; Je, Tae-Jin ; Jeong, Myung-Yung ; Yoo, Yeong-Eun 2008. "Fabrication of Master for a Spiral Pattern in the Order of 50nm" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 25(4): 134~139     

 저자의 다른 논문

  • 최두선 (79)

    1. 1992 "판재 절단의 최적화를 위한 네스팅 프로그램 개발" 硏究論文集 : 한국기계연구원 = Transactions of the KIMM 22 (): 47~54    
    2. 1993 "CAD시스템을 이용한 초상화 작성 방법" 硏究論文集 : 한국기계연구원 = Transactions of the KIMM 23 (): 155~164    
    3. 1996 "다단 디프 드로잉 공정 설계 및 적용 사례" 機械와 材料 = State of the art report 8 (3): 84~99    
    4. 2000 "UV레이저를 이용한 Cr 박막의 어블레이션" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (8): 134~139    
    5. 2000 "레이저 빔 응용 기술" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (7): 27~35    
    6. 2001 "레이저 용접공정과 밀링공정에 의한 쾌속 금속 시작품" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 18 (1): 104~110    
    7. 2001 "자동 충진 공정을 이용한 쾌속 제작 공정 개발" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 18 (7): 174~178    
    8. 2001 "고속가공을 이용한 시작금형 및 시작품의 쾌속제작" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 18 (12): 124~129    
    9. 2001 "Ruled Surface로 형성된 임펠러 블레이드 전용 CAD/CAM 시스템 개발 I (모델링에 관한 연구)" 한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers 10 (6): 71~77    
    10. 2002 "절삭가공과 저융점금속에 의한 쾌속제작용 자동충진공정 개발" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 19 (3): 88~94    
  • 이준형 (2)

  • 유영은 (45)

  • 제태진 (56)

  • 황경현 (55)

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