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레이저 화학증착을 이용한 3차원 쾌속조형에 관한 실험적 연구
Experimental Study of 3-Dimensional Rapid Prototyping by Laser Chemical Vapor Deposition

유재은   (공주대학교 대학원UU0000178  ); 이영림   (공주대학교 기계공학부UU0000178  );
  • 초록

    Laser chemical vapor deposition can be an effective technique for a rapid prototyping with ceramic materials, in particular. The objective of the study is to fabricate several 3-dimensional objects by stacking multi-layers as well as to find out some basic aspects of a rapid prototyping with laser chemical vapor deposition such as deposition characteristics with traversing speed of the laser, possible problems in stacking multi-layers etc. The limit speed of the laser that can grow a tilted SiC rod was found in this study, and laser directing writing that occurs over the limit speed was also investigated. Finally, a zigzag-shaped rod, a spiral-shaped rod, a wall and a square duct were successfully fabricated with laser chemical vapor deposition of tetramethylsilane


  • 주제어

    쾌속 조형 .   레이저 화학증착 .   테트라메틸사일레인 .   실리콘 카바이드.  

  • 참고문헌 (9)

    1. Zong, G-S, 1991, 'Solid Freeform Fabrication Using Gas Phase Selective Area Laser Deposition,' Ph. D. Dissertation, The University of Texas at Austin 
    2. Birmingham, R. B., 1995, 'Laser Based Solid Freeform Fabrication of Ceramic and Metal/Ceramic Shapes,' Ph. D. Dissertation, The University of Texas at Austin 
    3. Harrison, S. and Marcus, H. L., 1999, 'Gas-phase Selective Area Laser Deposition (SALD) Joining of SiC,' Materials & Design, Vol. 20, pp. 147-152 
    4. Thissell, W. R., 1994, 'Processing and Control of Selective Area Laser Deposition from Methane and Hydrogen,' Ph. D. Dissertation, The University of Texas at Austin 
    5. Jakubenas, K. J., Sanchez, J. M. and Marcus, H. L., 1998, 'Multiple Material Solid Free-Form Fabrication by Selective Area Laser Deposition,' Materials & Design, Vol. 19, pp. 11-18 
    6. Maxwell, J. L., Pegna, J., Messia, D. and DeAngelis, D., 1996, 'Direct Feedback Control of Gas-Phase Laser-Induced Deposition,' Proceedings of the Solid Freeform Fabrication Symposium, The University of Texas at Austin, pp. 227-237 
    7. Lee, Y. L., 2002, 'Study of Laser Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide from Tetramethylsilane,' Trans. of the KSME, Series B, Vol.. 26, No.9, pp. 1226-1233     
    8. Lee, Y. L. and Ryu, J. E., 2004, 'Experimental Study of the Growth of the SiC Rod Using Nd-Yag Laser Chemical Vapor Deposition,' Trans. of the KSME, Series A, Vol.. 28, No.4, pp.481-488     
    9. Figueras, A., Garelik, S., Santiso, J., Rodriguez-Clemente, R., Armas, B., Combescure, C., Berjoan, R., Saurel, J. M. and Caplain, R., 1992, 'Growth and Properties of CVD-SiC Layers Using Tetamethylsilane,' Mater. Sci. Eng., Vol.. B, No. B11, pp. 83-87 

 저자의 다른 논문

  • 유재은 (2)

    1. 2003 "건타입 버너의 수소 연소에 관한 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 27 (11): 1579~1586    
    2. 2004 "Nd-Yag 레이저 화학증착을 이용한 SiC 로드 성장에 관한 실험적 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A 28 (4): 481~488    
  • 이영림 (31)

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