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스크롤 펌프의 수소 배기특성
Hydrogen Pumping Characteristics of a Scroll Pump

인상렬    (한국원자력연구소 핵물리공학팀  );
  • 초록

    스크롤 펌프는 초청정 진공 시스템에서 많이 사용되고 있지만 막상 수소 배기 특성에 대해서 잘 알려져 있지 않다 이런 정보부족은 수소를 다량 사용하는 핵융합 실험장치에서 스크롤 점프가 사용 가능한지 판단하기 어렵게 만든다 이 논문에서는 특히 수소에 대한 스크롤펌프의 배기속도, 압측비 및 역류특성을 측정하기 위해 구성한 실험장치, 측정절차와 실험결과에 대해 기술하고 논의했다.


    The scroll pump is widely used in ultra clean vacuum systems. However, there is no commonly available information on the hydrogen pumping characteristics of this pump, which creates a difficulty in determining whether the scroll pump can be used or not in a fusion experiment system where hydrogen ,is the main working gas. In this paper the experimental setup, measurement procedures, experimental results, and discussions on the pumping speed, the maximum compression ratio and the back-streaming properties of the scroll pump, especially for the hydrogen gas, are reported.


  • 주제어

    스크롤 점프 .   배기속도 .   최대압축비 .   수소.  

  • 참고문헌 (7)

    1. L. Laurrenson and D. Turrell, Vacuum 38, 665 (1988) 
    2. U. Kirchhof et al., Test of Dry Mechanical Forepumps for Use in the ITER Vacuum Pumping System, FZKA 5578 (1995) 
    3. E. Bez and D. G. Guarnaccia, Vacuum 41, 1819 (1990) 
    4. ISO 1607/1, Positive-displacement Vacuum Pumps - Measurement of Pumping Speed; 1607/2, Measurement of Ultimate Pressure 
    5. M. Toshioka et al., J. Jpn. Vac. Soc. 33, 9 (1990) 
    6. Y. Su et al., Vacuum 47, 815 (1996) 
    7. E. Morishita et al., J. Jpn. Mech. Soc. 54, 410 (1988) 

 저자의 다른 논문

  • 인상렬 (33)

    1. 1995 "진공표준용기에서 진공계위치에 대한 고찰" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (1): 1~5    
    2. 1996 "이중 콘덕턴스법에 의한 실기체방출률 측정" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 5 (3): 175~180    
    3. 1998 "KSTAR 진공용기의 베이킹시 열응력해석" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (4): 285~292    
    4. 1999 "진공네트웍 압력분포 해석의 일반화" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (1): 1~8    
    5. 1999 "탄소섬유복합재(CFC)의 진공특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (b4): 497~506    
    6. 1999 "KSTAR 중성빔 입사(NBI) 장치 배기계통 설계" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (b4): 548~555    
    7. 1999 "KSTAR 진공용기 및 플라즈마 대향 부품에 대한 베이킹 해석" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (a4): 397~402    
    8. 2000 "분자류에서 도관의 연결부에 나타나는 빔 효과와 그림자 효과" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 9 (1): 1~6    
    9. 2001 "터보분자펌프 역류특성의 준정량적 평가" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 10 (1): 1~9    
    10. 2001 "국산 M8 스테인리스 나사의 체결특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 10 (2): 155~163    

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