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나노 광 프로브 어레이 구현을 위한 광학 헤드 유닛 개발
Development of Optical Head Unit for Nano Optical Probe Array

김홍민   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 임지석   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 김석민   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 한정원   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 강신일   (연세대학교 기계공학부UU0000936  );
  • 초록

    A optical head unit for nano optical probe array was developed. The optical probe array is generated by Talbot effect. The shape and thickness of microlens array(MLA) were designed to minimize the spot size at the foci of MLA. To increase the optical efficiency of the system and obtain the large tolerance for fabrication, aperture size was theoretically optimized. Then microlens illuminated aperture array(MLIAA) as an optical head unit was fabricated using a ultra violet(UV) molding process on aluminum aperture array. In this process, Al aperture array was fabricated separately using the photolithography and reactive ion etching(RIE) process. Optical properties of the generated optical probes were measured and compared at Talbot distance from the aperture array having a diameter of $1{\mu}m$ and MLIAA.


  • 주제어

    Nano Optical Probe .   Optical Head Unit .   Microlens illuminated Aperture Array .   Talbot Effect.  

  • 참고문헌 (11)

    1. D. H. Cho, S. K. Lee, B. Song, S. K. Kim, S. D. Jung, K. C. Kim, M. A. Chung, W. H. Cho, 2005, Twodimensional actuators for ultraslim mobile optical disk drive, IEEE Trans. Magn., Vol. 41, pp. 1053-1054 
    2. H. F. Shih, C. L. Chang, K. J. Lee, C. S. Chang, 2005, Design of optical head with holographic optical element for small form factor drive systems, IEEE Trans. Magn., Vol. 41, pp. 1058-1060 
    3. S. B. Luitjens, M. W. Blum, B. M. De Boer, W. F.ontigin, M. A. H. Vander Aa., 2003, Small form factor portable-blue drive: power consumption considerations, IEEE Trans. Cons. Electr., Vol. 49, pp.637-641 
    4. T. Hoog, A. Kastelijn, R. Hendriks, R. Verbeme, C. Busch, 2004, Optical ROM card system based on the Talbot effect, ISOM'04, Fr-L-02 
    5. H. F. Talbot, 1836, Philos. Mag. J. Sci., Vol. 9, p. 401 
    6. L. Rayleigh, 1881, Philos. Mag., Vol. 11, p. 196 
    7. M. Testof, .J. Jahns, N. A. Khilo, A. M. Goncharenko, 1996, Talbot effect for oblige angle of light propagation, Opt. Commun., Vol. 129, pp. 167-172 
    8. Nicolas GuCrineau, Bouchra Harchaoui, Jerome Primot, 2000, Talbot experiment re-examined:demonstration of an achromatic and continuous selfimaging regime, Opt. Commun., Vol. 180, pp. 199-203 
    9. S. Kim, S. Kang, 2003, Replication qualities and optical properties of UV-moulded microlens arrays, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol.36, pp. 2451-2456 
    10. 김석민, 임지석, 강신일, 전병희, 2004, UV 성형을 통한 마이크로 렌즈 어레이의 제작, 한국소성가공학회지, 제13권, pp. 236-241 
    11. S. Kang, S. Kim, H. Kim, J. Lim, 2005, Fabrication Technology for Photonic Devices-Micromano-Molding, CPT 2005 (Japan), pp. 16-19 

 저자의 다른 논문

  • 김홍민 (4)

    1. 2004 "단열층을 이용한 광디스크 기판의 서브 미크론 성형에 대한 수치 해석" 소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics 13 (1): 39~44    
    2. 2006 "Optical Card 시스템에서의 마이크로렌즈 조사 광프로브 어레이 설계 및 제작" 정보저장시스템학회논문집 = Transactions of the society of information storage systems 2 (1): 1~6    
    3. 2006 "스윙 암 타입 초소형 광 픽업 시스템의 방열 설계" 정보저장시스템학회논문집 = Transactions of the society of information storage systems 2 (1): 21~25    
    4. 2006 "UV 임프린트를 이용한 이미지 센서용 마이크로 렌즈 어레이 성형 공정 개발" 정보저장시스템학회논문집 = Transactions of the society of information storage systems 2 (2): 91~95    
  • 임지석 (7)

  • 김석민 (6)

  • 한정원 (3)

  • 강신일 (53)

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