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초정밀 가공기의 실시간 운동오차 및 열변형오차 보상
Real-time Motion Error Time and the Thermal Error Compensation of Ultra Precision Lathe

곽이구   (전주대학교 기계자동차공학과UU0001133  ); 김홍건   (전주대학교 기계자동차공학과UU0001133  ); 김재열   (조선대학교 메카트로닉스공학과UU0001180  );
  • 초록

    Recently, demand the ultra precision product which is increasing rapidly is used extensively frontier industry field such as semi-conductor, computer, aerospace, precision machine. Ultra precision processing is the portion that is very needed to NT in the field of mechanical engineering. The latest date, together with radical advancement of electronic and photonics industry, necessity of ultra precision processing is on the increase for the manufacture of various kernel parts those are connected with these industrial fields. Specially, require motion accuracy of high resolution of nm order in stroke of hundreds millimeters according as diameter of processing object great and processing accuracy rises. In this case ,the response speed absolute delay because inertial mass of moving part is very large. Therefore, real time motion error compensation becomes very hardly. In this paper, we used ultra precision cutting unit(UPCU) to cope such problem. a UPCU is designed and tested to obtain sub-micrometer from accuracy in diamond turning of flat surfaces. The thermal growth spindle error is compensated for real time using a UPCU driven by piezoelectric actuator along with a laser encoder displacement sensor.


  • 주제어

    오차 보상 .   초정밀 선반 .   압전소자 .   레이저 엔코더 .   미소절삭유닛 .   탄성심지 .   열팽창 오차.  

  • 참고문헌 (5)

    1. Bowen, D. K., 1992, Development in Nano-technology, Gordon and Breach Science Publishers 
    2. Nakazawa, H., 4, Principles of Precision Engineering, Gordon and Breach Science Publishers 
    3. Kim, H. S. and Kim, E. J., 2003, 'Feed-forward control of fast tool servo for real-time correction of spindle error in diamond turning of flat surfaces,' International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol. 43, pp. 1177-1183 
    4. Kwac, L. K., Kim, J. Y. and Cho, Y. T., 2004, 'FE Analysis According to Hinge Condition of Micro Stage for Micro Cutting Machine,' Key Engineering Materials, Vols. 274-276, pp. 343-348 
    5. Smith, S. T. and Chetwynd, D. G., 1992, Foundation of Ultra Precision Mechanism Design, Gordon and Breach Science Publishers 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Oh, S.J. ; Kim, C.S. ; Cho, J.H. ; Kim, D.Y. ; Seo, T.B. ; Ro, S.K. ; Park, J.K. 2013. "Numerical Analysis and Experiment of Environmental Control Cell for Ultra-nano Precision Machine" 한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 22(5): 824~830     

 저자의 다른 논문

  • Kwac, Lee-Ku (10)

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    2. 2006 "이중촉매 MEA의 성능평가에 관한 연구" 신재생에너지 = New & Renewable Energy 2 (2): 50~59    
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