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KSTLE international journal v.7 no.1, 2006년, pp.22 - 26  

Pre-processing for the Design of Micro-fluid Flow Sensing Elements

Kim Jin-Taek    (Department of Precision Mechanical Engineering, Chonbuk National University   ); Pak Bock-Choon    (School of Mechanical & Aerospace Engineering, Chonbuk National University   ); Lee Cheul-Ro    (School of Advanced Materials Engineering, Chonbuk National University   ); Baek B.J.    (School of Mechanical & Aerospace Engineering, Chonbuk National University  );
  • 초록

    A simple finite element analysis is performed to simulate the thermal characteristics of a micro sensor package with thin film heater embedded in the glass wall of a micro-channel. In this paper, Electric characteristics of ITO sputtered heater were presented in this study, which can be used as a map of heater design in the range of available system temperature. The effects of thermo-physical properties of materials, geometrical structure and boundary condition on the thermal performance are also investigated. Finally, the design of micro-flow induced thermal sensor that is capable of measuring fluid flow with a lower flow detection limit of approximately 24pL/s is presented.


  • 주제어

    microchannel .   microheating .   ITO .   sputtered heater .   PDMS.  

  • 참고문헌 (15)

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 저자의 다른 논문

  • 김진택 (14)

    1. 1993 "수직으로 놓인 후향계단위를 흐르는 유체유동에 미치는 부력의 영향에 관한 연구" 大韓機械學會論文集 17 (5): 1253~1261    
    2. 2001 "통기식 디스크 브레이크의 방열 성능에 관한 수치적 연구" 윤활학회지 = Journal of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers 17 (5): 358~364    
    3. 2002 "디스크 브레이크의 방열구 형상비에 따른 열적 거동에 관한 연구" 윤활학회지 = Journal of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers 18 (6): 384~388    
    4. 2004 "고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 28 (12): 1632~1639    
    5. 2006 "A Study of Thermal Behavior in Ventilated Disk Brake" KSTLE international journal 7 (2): 56~60    
    6. 2007 "반응로 형상에 따른 주기적으로 배열된 패턴위의 GaN 성장 특성" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 31 (3): 225~233    
    7. 2009 "Numerical analysis of flow characteristics of fire extinguishing agents in aircraft fire extinguishing systems" Journal of mechanical science and technology 23 (7): 1877~1884    
    8. 2010 "파라미터 해석을 통한 차량 성능 예측 기법 연구" 한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering 20 (11): 995~1000    
    9. 2011 "플로워 진동 저감을 위한 제진재 해석 프로세스 연구" 한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering 21 (4): 333~338    
    10. 2011 "승용차 디젤 엔진 소음에 대한 음질 평가 기법 연구" 한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering 21 (10): 883~889    

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