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고정 마스크에 의한 레이저 미세패터닝 쾌속 제작
Rapid Manufacturing of Laser Micro-Patterning Using Fixed Masks

신보성   (부산대 정밀정형 및 금형가공연구소  ); 오재용   (부산대 정밀정형 및 금형가공연구소  );
  • 초록

    The technologies of laser micromachining are changed toward more complex-micropatterning, from the micro circle-shaped hole drilling to the micro arbitrary-shaped hole drilling. In this paper, the fundamental experiments by using DPSS 3rd harmonic $Nd:YVO_4\;laser({\lambda}=355nm)$ were carried out in order to obtain the feasibility of flexible micropatterning by various fixed masks. Fixed masks and Galvano scanners were investigatde to make micro patterns. from these experimental results, micropatterns on PEN film were rapidly manufactured in large area.


  • 주제어

    micro-patterning .   fixed mask .   DPSS 355nm .   rapid manufacturing.  

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