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펨토초 레이저를 이용한 형상 측정용 비동일 광경로 저결 맞음 간섭계
Unequal-path Low-coherence Interferometry Using Femtosecond Pulse Lasers for Surface-profile Metrology

오정석   (한국기계연구원 지능기계연구센터CC0007559  ); 김승우   (한국과학기술원 기계공학과UU0001375  );
  • 초록

    We discuss two possibilities of using femtosecond pulse lasers as a new interferometric light source for enhanced precision surface-profile metrology. First, a train of ultra-fast laser pulses yields repeated low temporal coherence, which allows unequal-path scanning interferometry, which is not feasible with white light. Second, the high spatial coherence of femtosecond pulse lasers enables large-sized optics to be tested in nonsymmetric configurations with relatively small-sized reference surfaces. These two advantages are verified experimentally using Fizeau and Twyman-Green type scanning interferometers.


  • 주제어

    펨토초 레이저 .   저결맞음 간섭계 .   주사간섭계 .   가시도정점 .   위상정점.  

  • 참고문헌 (19)

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    17. Harasaki, A. and Wyant, J. C., 'Fringe modulation skewing effect in white-light vertical scanning interferometry,' Appl. Opt., Vol. 39, No. 13, pp. 2101 - 2106, 2000 
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