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나노 박막을 이용한 듀얼 $SnO_2$ 마이크로 가스센서 어레이
A Dual Micro Gas Sensor Array with Nano Sized $SnO_2$ Thin Film

정완영   (동서대학교 컴퓨터정보공학부UU0000470  );
  • 초록

    나노입자 크기를 가진 얇은 $SnO_2$ 박막을 이용하여 CO 및 $H_2S$ 에 대한 우수한 감도를 가지는 복합 마이크로 가스센서 어레이를 제작하였다. 나노입자의 박막을 만들기 위해서 약 $2500{\AA}$ 두께의 $SnO_2,\;SnO_2(+Pt),\;SnO_2(+CuO)$ 막을 셰도우마스크를 사용하여 형성 한 후, 이를 $600{\sim}800^{\circ}C$ 의 온도에서 산화하므로서 나노입자의 $SnO_2$ 모물질의 가스감지 박막을 형성하였다. 실리콘 기판의 마이크로센서의 형태로 제작된 $SnO_2(Pt)$ 및 $SnO_2(+CuO)$ 가스센서는 각각 CO 및 $H_2S$ 가스에 대한 매우 우수한 감도를 나타내는 것을 확인하였다.


    A dual micro gas sensor way for detecting reducing gas and bad order was fabricated using nano sized $SnO_2$ thin film fabrication method. To make nano-sized thin gas sensitive $SnO_2$ thin rilm, thin tin metal layer $2500{\AA}$ thick was oxidized between 600 and $800^{\circ}C$ by thermal oxidation. The gas sensing layers such as $SnO_2,\;SnO_2(+Pt)\;and\;SnO_2(+CuO)$ were patterned by metal shadow mask for simple fabrication process on the silicon substrate. The micro gas sensors with $SnO_2(Pt)$ and $SnO_2(+CuO)$ showed good selectivity to CO gas among reducing gases and good sensitivity to $H_2S$ that is main component of bad odor, separately.


  • 주제어

    $SnO_2$ thin film .   Mico Gas Sensor .   CO gas sensor .   $H_2S$ gas sensor .   Nano-sized thin film.  

  • 참고문헌 (8)

    1. V. Demarne and A. Grisel, A new $SnO_{2}$ low power temperature deposition technique for integrated gas sensors, Sensors and Actuators B, Vol.15-16, pp.63-67, 1993 
    2. M. Ando, S. Suto, T. Suzuki, T. Tsuchida, C. Nakayama, N. Miura, N. Yamazoe, $H_{2}S$-sensitive thin film fabricated from hydrothermally synthesized $SnO_{2}$ sol, J. Mater. Chem., Vol.4(4), pp.631-633, 1994 
    3. N. Yamazoe, N. Miura, in: S. Yamauchi(ed.), Chemical Sensor Technology Vol.4, Kodansa, Tokyo, pp.19-42, 1993 
    4. Wan-Young Chung and Jun-Woo Lim, Patterning of Thin Tin Oxide Films with Nano-Size Particle for 2-Dimensional Micro Gas Sensor Array, Current Applied Physics, Vol.3, pp.413-416, 2003 
    5. J. S. Suehle, R.E. Cavicchi, M. Gaitan and S, Semancik, Tin oxide gas sensor fabricated using CMOS micro-hotplates and in-situ processing, IEEE Electron Device Letters, Vol.14, pp.118-120, 1993 
    6. Wan-Young Chung, Jun-Woo Lim, Duk-Dong Lee, Norio Miura, Noboru Yamazoe, Thermal and gas-sensing properties of planar-type micro gas sensor, sensor and Actuators B, Vol.64, pp.118-123, 2000 
    7. Wan-Young Chung, Yun-Soo Lee and Duk-Dong Lee, Indium Oxide Thin Film Sensor by Sol-Gel Method for Ozone Monitoring, J. of Materials Science Letters, Vol.22, pp.907-909, 2003 
    8. W.-Y. Chung, C.-H. Shim, S.-D. Choi and D.-D. Lee, Tin oxide micro sensor for LPG Monitoring, Sensors and Actuators B, Vol.20, pp.139-143, 1994 

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