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원환형 덮개장착이 스피너 장비의 기류에 미치는 영향
EFFECTS OF PLACEMENT OF A TORUS PLATE COVER ON AIR FLOW IN A SPINNER EQUIPMENT

곽호상   (금오공과대학교 기계공학부UU0000297  ); 양진오   (금오공과대학교 대학원 기계공학과UU0000297  ); 이상우   (금오공과대학교 기계공학부UU0000297  ); 박상희   (금오공과대학교 기계공학부UU0000297  );
  • 초록

    A numerical investigation is made of air flow in a spinner equipment used for cleanning and drying flat display panels. A unique feature of the spinner under question is the placement of a torus plate cover over the rotating plate. The turbulent flow is driven by rotation of a large disk and suction by the exhaust system connected to vacuum chamber. The flow is modelled as an axisymmetric two-dimensional flow and computation is conducted by using the FLUENT package with a version of k- $\varepsilon$ turbulence model. The required capacity of the exhaust system is assessed numerically. The usefulness of the cover in controlling air flow circulation is examined. A computational trouble shooting is attempted to resolve the problem of panel rising which occurred in real experiment.


  • 주제어

    스피너 .   원환유동장애물 .   회전유동 .   기류제어 .   강제배기 .   에크만 흡입.  

  • 참고문헌 (13)

    1. Greenspan, H.P., 1968, The Theory of Rotating Fluids, Cambridge Univ. Press 
    2. Andereck, c, Liu, S.S., and Swinney, H.J., 1986, "Flow Regimes in a Circular Couette System with Independently Rotating Cylinders," J. Fluid Mech., Vol.164, p.155-183 
    3. 이상우, 곽호상, 2001, LCD 제조공정의 스피너 내부유동 제어기술 개발, 중소기업청, 금오공과대학교 산학연 컨소시엄 사업보고서 
    4. Gregory, N. and Walker, W.S., 1960, "Experiments on the Effect of Suction on the Flow due to a Rotating Disk," J. Fluid Mech., Vol.9, p.225-234 
    5. Sparrow, E.M. and Gregg, J.L., 1960, "Mass Transfer, Flow and Heat Transfer about a Rotating Disk," Trans. ASME J. Heat Transfer Vol. 82, p.294-302 
    6. Rogers, M.H. and Lance, G.N., 1960, ''The Rotationally Symmetric Flow of a Viscous Fluid in the Presence of an Infinite Rotating Disk," J. Fluid Mech., Vol.7, p.617-631 
    7. Roberts, S.M. and Shipman, J.S., 1976, "Computing of the Flow between a Rotating and a Stationary Disk," J. Fluid Mech,, Vol.73, p.53-63 
    8. 송창걸, 황정호, 1997, "증착공정에서 회전원판 정체점 유동에 대한 상사해석," 대한기계학회논문집B Vol.21, p.371-379 
    9. Ma, F. and Hwang. J.H., 1990, "The Effect of Air Shear on the Flow of a Thin Liquid Film over a Rough Rotating Disk," J. Applied Physics, Vol.68, p.1265-1271 
    10. 지철욱, 곽호상, 김경훈, 2003, "LCD 유리원판 진공식 합착공정 해석을 위한 수치모텔," 한국전산유체공학회지 제8권 제2호, p.33-41 
    11. Owen, J.M., Pincomber, J.R. and Rogers, R.H., 1985, "Source..Sink Flow inside a Rotating Cylindrical Cavity," J. Fluid Mech., Vol.155, p.233-265 
    12. 김윤호, 지태호, 김서영, 이광훈, 2006, "LCD 패널 세척공정에서 원적외선 히터에 의한 유리기판 승온시간 예측," 설비공학논문집 Vol.18, p.526-533     
    13. Schlichting, H., 1979, "Flow over a Rotating Disk", in Boundary Layer Theory, McGraw..Hill 

 저자의 다른 논문

  • 곽호상 (21)

    1. 2002 "열유체해석 모델의 병렬화" 기계저널 : 大韓機械學會誌 42 (1): 47~51    
    2. 2002 "간헐 열전달을 이용한 밀폐용기내의 물질전달 향상" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 7 (1): 36~43    
    3. 2003 "플립칩 본더용 가열기의 열특성 해석을 위한 수치모델" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 8 (4): 41~49    
    4. 2003 "LCD 유리원판 진공식 합착공정 해석을 위한 수치모델" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 8 (2): 33~41    
    5. 2006 "단열 진공유리의 제작 및 열전달계수 측정에 관한 실험적 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 30 (8): 772~779    
    6. 2006 "초정밀 플립칩 접합기용 고성능 가열기의 열적 설계 및 시험" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 30 (10): 957~965    
    7. 2009 "An Experimental Study on Wafer Demounting by Water Jet in a Waxless Silicon Wafer Mounting System" 반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology 8 (2): 31~35    
    8. 2009 "벽면에 충돌하는 펄스 플라즈마 제트 유동특성에 대한 수치적 연구" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 14 (1): 70~77    
    9. 2009 "저점성 SWNT 분산액 도포용 슬릿 노즐 설계를 위한 유동해석" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 14 (1): 78~85    
    10. 2010 "광섬유 고속인출공정용 유리섬유 냉각장치 내 공기유입에 의한 내부헬륨농도 저하현상 연구" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 15 (4): 92~98    
  • 이상우 (30)

  • 박상희 (20)

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