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LED 효율 향상을 위한 Texture구조 AZO 박막의 제조와 광학적 특성분석
Analysis on the Optical Properties and Fabrication of Textured AZO Thin Films for Increasing the Efficiency of LED

김경민   (원광대학교 전기전자 및 정보공학부UU0001021  ); 진은미   (원광대학교 전기전자 및 정보공학부UU0001021  ); 박춘배   (원광대학교 전기전자 및 정보공학부UU0001021  );
  • 초록

    The transparent conductive oxide(TCO) has been used in necessity as front electrode for increasing efficiency of LED. In our paper, aluminium-doped zinc oxide films(AZO), which has transparent conducting were prepared with RF magnetron sputtering system on glass substrate(corning 1737) and annealed at $400^{\circ}C$ for 2 hr in vacuum ambient and $600^{\circ}C$ for 2hr with $O_2$ ambient respectively. The smooth AZO films were etched in diluted HCL(0.5 %) to examine the surface properties, which in ambient post-annealing process. We confirmed that the electric, structural and optical properties of textured AZO thin films, which implemented using the methods of XRD, FWHM, AFM and Hall measurement. The properties of textured AZO thin films especially depended on the ambient post-annealing process. We presumed that the change of transmittances as R G B LED and the ambient post-annealing process will be increasing the efficiency of LED.


  • 주제어

    Textured AZO thin film .   Ambient post-annealing process .   Efficiency of LED.  

  • 참고문헌 (16)

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    11. 유인성, 소순진, 박춘배, '기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조분석', 전기전자재료학회논문지, 19권, 5호, p. 461, 2006     
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    13. 김경민, 김덕규, 오상현, 박춘배, 'LED 적용을 위한 AZO 투명전도 박막의 표현 texture 구조분석', 한국전기전자재료학회 2006하계학술대회논문집, p. 103, 2006 
    14. G. J. Fang, D. Li, and B. L. Yao, 'Influence of post-deposition annealing on the properties of transparent conductive nanocrystalline ZAO thin films prepared by RF magnetron sputtering with highly conductive ceramic target', Thin Solid films, Vol. 418, No.2, p. 156, 2002 
    15. 박용욱, 윤석진, 최지원, 김현재, 정영진, 박창엽, 'RF 마그네트론 반응성 스퍼터링으로 제작된 ZnO/Glass 박막 특성', 전기전자재료학회논문지, 11권, 10호, p. 833, 1998 
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  • 이 논문을 인용한 문헌 (5)

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    2. Jeong, Yun-Hwan ; Jin, Hu-Jie ; Park, Choon-Bae 2008. "The Increase of Photodiode Efficiency by using Transparent Conductive Aluminium-doped Zinc Oxide Thin Film" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 21(9): 863~867     
    3. Jeong, Yun-Hwan ; Chen, Hao ; Jin, Hu-Jie ; Park, Choon-Bae 2009. "Analysis of Electrical Property of Room Temperature-grown ZnO:Al Thin films Annealed in Hydrogen Ambient" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 22(4): 318~322     
    4. Kim, Dae-Il 2011. "Effect of Post Deposition Annealing Temperature on the Structural, Optical and Electrical Properties of GZO/Cu Films" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 24(9): 739~743     
    5. Xu, Bing ; Park, Choon-Bae ; Hoang, Geun-C. 2012. "Photoelectric Conversion Properties of Dye-sensitized Solar Cell in the Transparent Electrode of Textured-AZO/AZO/Glass" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 25(1): 37~43     

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