본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society v.14 no.4, 2007년, pp.1 - 7   피인용횟수: 2
본 등재정보는 저널의 등재정보를 참고하여 보여주는 베타서비스로 정확한 논문의 등재여부는 등재기관에 확인하시기 바랍니다.

열-나노임프린트 공정의 점탄성 유한요소해석
A Viscoelasitc Finite Element Analysis of Thermal Nanoimprint Lithography Process

김남웅   (서울대학교 기계항공공학부UU0000691  ); 김국원   (순천향대학교 기계공학과UU0000848  ); 신효철   (서울대학교 기계항공공학부UU0000691  );
  • 초록

    최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 나노 스케일의 패턴을 성공적으로 전사하기 위해서는 폴리머의 기계적 거동에 대한 이해를 바탕으로, 적절한 공정 조건 즉, 압력, 온도, 시간 등의 선택이 필요하다. 본 연구에서는 열-나노임프린트 공정에서의 충전과정을 해석하기 위하여 비선형 유한요소법을 이용하였으며, 폴리머의 거동을 점탄성으로 가정하여 재료의 응력완화 효과를 고려하였다. 해석을 통하여 온도 및 몰드의 패턴형상이 열-나노임프린트 공정에 미치는 영향을 살펴보았다.


    Nanoimprint lithography (NIL) is an emerging technology enabling cost-effective and high-throughput nanofabrication. To successfully imprint a nano-sized pattern, the process conditions such as temperature, pressure, and time should be appropriately selected. This starts with a clear understanding of polymer material behavior during the NIL process. In this work, the squeezing of thin polymer films into nanocavities during the thermal NIL has been investigated based upon a two-dimensional viscoelastic finite element analysis in order to understand how the process conditions affect a pattern quality. The simulations have been performed within the viscoelastic plateau region and the stress relaxation effect has been taken into account.


  • 주제어

    Thermal nanoimprint lithography .   Viscoelastic behavior .   Finite element analysis .   Stress relaxation.  

  • 이 논문을 인용한 문헌 (2)

    1. Kim, Nam-Woong ; Kim, Kug-Weon ; Sin, Hyo-Chol 2009. "Effect of Pressure and Initial Polymer Resist Thickness on Low Temperature Nanoimprint Lithography" 한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, 18(1): 68~75     
    2. Ryu, Jin-Hwa ; Kim, Dong-Min ; Kim, Eung-Soo ; Jeong, Myung-Yung 2011. "Optical PCB and Packaging Technology" 마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, 18(1): 7~13     

 저자의 다른 논문

  • 김국원 (39)

    1. 2001 "광디스크 드라이브 방진마운트의 동특성 예측" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 18 (12): 104~109    
    2. 2002 "초정밀 절삭에 있어서 임계절삭깊이에 대한 연구" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 19 (8): 126~133    
    3. 2002 "치수공차가 고려된 광디스크 드라이브의 방진마운트 설계에 관한 연구" 한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering 12 (9): 661~667    
    4. 2002 "2차원 절삭이론을 이용한 정면밀링 절삭력 예측" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 19 (12): 150~157    
    5. 2005 "엔드밀 가공에서의 공구 변형에 대한 유한요소해석" 한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society 6 (1): 83~86    
    6. 2005 "Force Prediction and Stress Analysis of a Twist Drill from Tool Geometry and Cutting Conditions" International journal of precision engineering and manufacturing 6 (1): 65~72    
    7. 2005 "고속 엔드밀 가공에서의 절삭력 예측" 한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers 4 (4): 21~27    
    8. 2006 "대면적 OLED증착용 서큘러소스의 성능개선" 한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society 7 (5): 759~765    
    9. 2006 "플라스틱 커플러를 채용한 프로젝션 TV의 휘도저감" 한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society 7 (6): 1028~1033    
    10. 2006 "2차원 저속절삭에 대한 유한요소 해석" 한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers 5 (2): 10~15    
  • 신효철 (27)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
유료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠
이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기