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주사전자현미경 특성의 통계적 해석
Statistical Analysis of Characteristics of Scanning Electron Microscope

김태선    (가톨릭대학교 정보통신전자공학부   ); 김우석    (세종대학교 전자공학과   ); 김동환    (서울산업대학교 기계설계자동화공학부   ); 김병환    (세종대학교 전자공학과  );
  • 초록

    A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a $2^4$ full factorial experiment was conducted. The SEM components examined include condenser lens 1 and 2 (denoted as A and B, respectively), and Objective lens (coarse and fine-denoted as C and D respectively). A statistical analysis was conduced to investigate factor effects and variations In response surfaces. Among four factors, main effect analysis revealed that A and D were Identified as the dominant factor. Moreover, B showed conflicting effect against C. The $R^2$ of statistical regression model constructed was about 69.6%. The model generated 3D response surface plots facilitated understanding of complex tactor effects.


  • 주제어

    SEM .   Statistical analysis .   Main effect .   Response surface model.  

  • 참고문헌 (7)

    1. G. S. May, J. Huang, C. J. Spanos, IEEE Trans. Semicond. Manufact., 4 (1991) 83 
    2. D. C. Mongomery, Design and Anlaysis of Experiments, Wiley, Singapore, 1992 
    3. L. Reimer, Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer, Berlin, 1998 
    4. H. W. Mook, P. Kruit, Nucl. Instr. and Meth. A, 536 (1999) 
    5. R. E. Lee, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Prentice Hall, 1993 
    6. B. Kim, K. Park, Microelectron. Eng., 77 (2005) 150 
    7. Minitab, Manual, USA 

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