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하부 플레넘 구조물 조건을 고려한 클린룸의 편류 개선 방법
Improving Vertical Airflow Uniformity Considering the Structures of the Lower Plenum in a Cleanroom

김영섭   ((주) GS건설 기술연구소CC0145815  ); 하만영   (부산대학교 기계공학부UU0000613  );
  • 초록

    To achieve the unidirectional airflow in a cleanroom, we need to predict accurately the static pressure losses at the lower plenum and to control properly the opening pressure ratio of access floor panels based on these pressure losses. At first, the present study proposed a correlation to predict the velocity distribution at the lower plenum, because the accuracy to predict pressure losses at the lower plenum depends on how to calculate the velocity correctly against the inner structures at the lower plenum. In the second place, this study proposed correlations which considered the effect of inner structures such as columns, ducts and equipments at the lower plenum on pressure losses. In order to test the accuracy of these correlations, we compared air flow patterns before regulating the opening ratio of access floor with those after regulating. Results after regulating the opening ratio of access floor show good unidirectional uniform airflow pattern. So the present method can be used as an important tool to control the air flow in a cleanroom.


  • 주제어

    클린룸 .   하부 플레넘 .   억세스 플로어 .   개구율 .   속도분포 .   정압분포.  

  • 참고문헌 (8)

    1. Kim, D. K., Cho, S. J., Moon, I. H. and Kim, J. J., 2003, A study for improving airflow uniformity in vertical unidirectional flow cleanroom with FFUs, Proceedings of the SAREK Summer Annual Conference, pp. 1-7 
    2. Launder, B. E. and Spalding, D. B., 1972, Lectures in mathematical models of turbulance, Academic Press, England 
    3. Cheng, M., Liu, G. R., Lam, K. Y., Cai, W. J. and Lee, E. L., 1999, Approaches for improving airflow uniformity in unidirectional flow cleanrooms, Building and Environment, Vol. 34, pp. 275-284 
    4. SPS-KACA003-133, Test methods for performance evaluation of cleanrooms and associated controlled environments, Korea Air Cleaning Research Association, 2000 
    5. Noh, K. C, Oh, M. D. and Lee, S. C., 2005, A numerical study on airflow and dynamic cross-contamination in the super cleanroom for photolithography process, Building and Environment, Vol. 40, pp. 1431-1440 
    6. Park, M. S., Lee, J. H., Ahn, K. H. and Kim, J. H., 1993, On the characteristics of the flow with opening and shutting of access panels in a clean room, Korean Journal of Air-conditioning and Refrigeration, Vol. 5, No. 1, pp. 55-64 
    7. Kang, S. H., Jeon, W. P. and Oh, M. D., 1990, Effect of the floor pannel of flows in a vertical laminar flow type clean room, Korean Journal of Air-conditioning and Refrigeration, Vol. 2, No. 4, pp. 303-315 
    8. Fluent Inc., Fluent V6.3 User Guide, Fluent Inc., 2006 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Han, Hwa-Taik ; Choi, Chang-Ho ; Lee, Dae-Young ; Kim, Seo-Young ; Kwon, Yong-Il ; Choi, Jong-Min 2009. "Recent Progress in Air-Conditioning and Refrigeration Research: A Review of Papers Published in the Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering in 2008" 설비공학논문집 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, 21(12): 715~732     

 저자의 다른 논문

  • 하만영 (34)

    1. 1996 "파울링 예측을 위한 가스-입자 이상 유동 해석(1)-고온 풍동 설계 및 성능실험-" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 20 (11): 3695~3705    
    2. 1996 "진동하는 유동장하에서 내부 순환 유동을 고려한 액적의 증발에 관한 수치적 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 20 (5): 1700~1716    
    3. 1997 "전산유체기법을 이용한 연속주조 Tundish 의 형상 설계" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 2 (1): 117~128    
    4. 1999 "EMBR이 적용된 연속주조 몰드 내부에서의 유동장 해석" 한국전산유체공학회지 = Journal of computational fluids engineering 4 (2): 47~56    
    5. 1999 "쌍롤 연속 주조에서의 난류 유동, 온도 및 응고 예측을 위한 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 23 (1): 12~24    
    6. 2000 "수치해석을 이용한 연주 주편의 역학적 거동 해석" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (11): 122~128    
    7. 2003 "A Numerical Study on the Triboelectrostatic Separation of PVC Materials From Mixed Plastics for Waste Plastic Recycling" KSME international journal 17 (10): 1485~1495    
    8. 2003 "대형 와 모사를 사용한 혼합 탱크 내의 농도장과 유동장의 동시 해석" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 27 (9): 1282~1289    
    9. 2003 "대형 와 모사를 통한 레이놀즈 수 증가에 따른 혼합 탱크 내의 유동 구조의 연구" 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B 27 (9): 1290~1298    
    10. 2004 "Lattice Boltzmann Equation 방법을 복잡한 형상의 채널 유동 해석에 적용하기 위한 수치적 연구" 한국가시화정보학회지= Journal of the Korean society of visualization 2 (1): 46~51    

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