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마이크로-나노 가공을 위한 집속이온빔 공정 시뮬레이션
Simulation of Focused Ion Beam Processes for Micro-Nano Machining

이희원   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 한진   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 민병권   (연세대학교 기계공학부UU0000936  ); 이상조   (연세대학교 기계공학부UU0000936  );
  • 초록

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  • 주제어

    집속이온빔 가공 .   형상정밀도 .   시뮬레이션 방법.  

  • 참고문헌 (8)

    1. Sigmund, P., "Mechanisms and Theory of Physical Sputtering by Particle Impact," Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms, Vol. 27, Issue 1-2, pp. 1-20, 1987 
    2. Yamamura, Y., Takiguchi, T. and Ishida, M., "Energy and Angular-Distributions of Sputtered Atoms at Normal Incidence," Radiation Effects and Defects in Solids, Vol. 118, Issue 3, pp. 237-261, 1991 
    3. Orloff, J., "Handbook of charged particle optics," CRC press, pp. 440-442, 1997 
    4. Katardjiev, I. V., Carter, G., Nobes, M. J., Berg, S. and Blom, H. O., "3-Dimensional Simulation of Surface Evolution During Growth and Erosion," Journal of Vacuum Science & Technology a-Vacuum Surfaces and Films, Vol. 12, issue 1, pp. 61-68, 1994 
    5. Adams, D. P. and Vasile, M. J., "Accurate focused ion beam sculpting of silicon using a variable pixel dwell time approach," Journal of Vacuum Science & Technology B, Vol. 24, Issue 2, pp. 836-844, 2006 
    6. Boxleitner, W. and Hobler, G., "FIBSIM - dynamic Monte Carlo simulation of compositional and topography changes caused by focused ion beam milling," Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions with Materials and Atoms, Vol. 180, Issue 1-4, pp. 125-129, 2001 
    7. Kim, H. B. and Hobler, G., "Ion Beam Induced Micro/Nano Fabrication: Modeling," Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 24, No.8, pp108-115, 2007     
    8. Vasile, M. J., Niu, Z., Nassar, R., Zhang, W. and Liu, S., "Focused ion beam milling: Depth control for three-dimensional micro-fabrication," 41st International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication, Dana Point, pp. 2350-2354, 1997 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (4)

    1. Oh, Maeng-Ho ; Jeong, In-Sung ; Lee, Jong-Hang 2009. "Beam Focusing Performance of Electrostatic Lens using SIMION Simulator" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 26(4): 128~133     
    2. Han, Jeong-Won ; Choi, Jun-Hyuk ; Yoo, Yeong-Eun ; Kim, Byeong-Hee ; Lee, Jae-Sook ; Kang, Shin-Ill 2009. "Nano Replication Technology of Nano Patterns and Application Fields" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 26(6): 30~35     
    3. Han, Min-Hee ; Han, Jin ; Kim, Tae-Gon ; Min, Byung-Kwon ; Lee, Sang-Jo 2010. "Improvement of Ion Beam Resolution in FIB Process by Selective Beam Blocking" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 27(8): 84~90     
    4. Kim, Heung-Bae ; Noh, Sang-Lai 2011. "The Characteristics of Focused Ion Beam Utilized Silicon Mold Fabrication on the Micro/Nano Scale" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 28(8): 966~974     

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