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종자정 부착 시 생성되는 마이크로 기공이 PVT법에 의하여 성장시킨 6H-SiC 결정질에 미치는 영향
The Micro Bubble Effect in the Seed Adhesion on the Crystal Quality of 6H-SiC grown by a Physical Vapor Transport (PVT) Process

김정곤   (동의대학교 신소재.나노공학과UU0000509  ); 김정규   (동의대학교 전자세라믹스센터UU0000509  ); 손창현   (동의대학교 나노공학과UU0000509  ); 최정우   (동의대학교 나노공학과UU0000509  ); 황현희   (동의대학교 나노공학과UU0000509  ); 이원재   (동의대학교 나노공학과UU0000509  ); 김일수   (동의대학교 나노공학과UU0000509  ); 신병철   (동의대학교 나노공학과UU0000509  );
  • 초록

    With different seed adhesion methods, we obtained two different aspects with or without micro-bubble in the interface between a seed and a dense graphite seed holder. To improve the quality of SiC wafer, we introduced a sucrose caramelizing step at the seed adhesion using the sucrose, The n-type 2 inch single crystal exhibiting the polytype of 6H-SiC were successfully fabricated and carrier concentration levels of about $10^{16}/cm^3$ was determined from Hall measurements, As compared to the characteristics of SiC crystal grown with micro-bubble in the interface between the seed and the dense graphite seed holder, the SiC crystal grown without micro-bubble definitely exhibited lower resistivity, lower micropipe density and higher mobility relatively.


  • 주제어

    SiC .   Sublimation .   PVT .   Micro-bubble .   Seed adhesion .   Sucrose.  

  • 참고문헌 (10)

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    10. M. V. Bogdanov, A. O. Galyukov, S. Yu. Karpov, A. V. Kulik, S. K. Kochuguev, D. Kh. Ofengeim, A. V. Tsiryulnikov, M. S. Ramm, A. I. Zhmakin, and Yu. N. Makarov, "Virtual reactor as a new tool for modeling and optimization of SiC bulk crystal growth", J. Cryst. Growth, Vol. 225, p. 307, 2001 

 저자의 다른 논문

  • 김정곤 (1)

    1. 2006 "도가니 구조 변경을 통한 6H-SiC 단결정의 직경 확장에 관한 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 19 (7): 673~679    
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