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직충돌 이온산란 분광법(ICISS)에 의한 고체 표면구조의 해석(3): 세라믹 재료의 표면 구조 해석
Surface Structure Analysis of Solids by Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy (3): Surface Structure of Ceramics

황연    (서울산업대학교 신소재공학과  );
  • 초록

    이온산란 분광법(ISS: Ion Scattering Spectroscopy)은 표면 원자의 구조를 러더포드 후방산란법(RBS: Rutherford Backscattering Spectroscopy) 등과 같이 실공간에 대하여 직접 정보를 얻는 방법이다. 그 중에서도 산란각도를 $180^{\circ}$ 로 고정하여 산란이온 검출기를 설치한 직충돌 이온산란 분광법(ICISS: Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy)은 산란된 이온의 궤적이 입사궤도와 거의 동일하기 때문에 산란궤적의 계산이 간단해지고, 최외층 뿐만 아니라 표면에서 수 층 깊이의 원자구조의 해석이 가능하다. 또한 비행시간형(TOF: Time-Of-Flight) 분석기를 채택하여 산란 이온 및 중성원자를 동시에 측정하면 입사 이온의 표면에서의 중성화에 관계 없이 산란 신호를 얻으므로 표면 원자의 결합 특성에 영향 받지 않고 사용할 수 있다. 본고에서는 ICISS의 원리, 장치, 측정방법 등을 소개한 제1편 및 반도체 표면구조, 금속/반도체 계면 등의 해석에 관하여 기술한 제2편에 이어서 세라믹 재료의 표면 원자 구조, 세라믹 박막의 원자 구조, 흡착 기체의 구조, 원소의 편석 등에 관한 연구 사례를 소개하고자 한다.


  • 참고문헌 (25)

    1. Henrich, V. E. and Cox, P. A., The Surface Science of Metal Oxides (Cambridge University Press, Cambridge, 1994) 
    2. Thiry, P. A., Ghijsen, J., Sporken, R., Pireaux, J. J., Johnson, R. L. and Caudano, R., Phys. Rev., B39, 3620 (1989) 
    3. McKee, R. A., Walker, F. J., Specht, E. D., Jellison Jr., G. E. and Boatner, L. A., Phys. Rev. Lett., 72, 2741 (1994) 
    4. Hwang, Y., Lee, T. K. and Park, B. K., Kor. J. Crystallography, 13, 57 (2002)     
    5. Fehner, F. P., Low Temperature Oxidation (John Wiley and Sons, 1986) 
    6. Ocal, C., Ferrer, S. and Garcia, N., Surf. Sci., 163, 335 (1985) 
    7. Fukuda, Y. and Tanabe, K., Bull. Chem. Soc. Jpn., 46, 1616 (1973) 
    8. Suzuki, T., Hishita, S., Oyoshi, K. and Souda, R., Surf. Sci., 391, L1243 (1997) 
    9. Niehus, H. and Comsa, G., Surf. Sci., 140, 18 (1984) 
    10. Peng, X. D. and Barteau, M. A., Surf. Sci., 233, 283 (1990) 
    11. Souda, R., Hwang, Y., Aizawa, T., Hayami, W., Oyoshi, K. and Hishita, S., Surf. Sci., 387, 136 (1997) 
    12. Nelson, J. W. and Curtler, I. B., J. Am. Ceram. Soc., 66, 111 (1983) 
    13. Hwang, Y., J. Kor. Ceram. Soc., 39, 433 (2002)     
    14. Gassmann, P., Franchy, R. and Ibach, H., Surf. Sci., 319, 953 (1994) 
    15. Aono, M., Oshima, C., Zaima, S., Otani, S. and Ishizawa, Y., Jpn. J. Appl. Phys., 20, L829 (1981) 
    16. Hwang, Y. and Souda, R., Thin Solid Films, 458, 26 (2004) 
    17. Hayami, W., Souda, R., Aizawa, T., Otani, S. and Ishizawa Y., Surf. Sci., 276, 299 (1992) 
    18. Sumitomo, K., Kobayashi, T., Shoji, F. and Oura, K., Phys. Rev. Lett., 66, 1193 (1991) 
    19. Zhou, J. B., Lu, H. C., Gustafsson, T. and H$\"{a}$berle, P., Surf. Sci., 302, 350 (1994) 
    20. Hwang, Y., Souda, R., Hishita, S. and Otani, S., Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res., B 184, 555 (2001) 
    21. Hwang, Y., Souda, R., Aizawa, T., Hayami, W., Otani, S. and Ishizawa, Y., Jpn. J. Appl. Phys., 36(9A), 5707 (1997) 
    22. Hwang, Y., Souda, R., Aizawa, T., Hayami, W., Otani, S. and Ishizawa, Y., Surf. Sci., 380, 45 (1997) 
    23. Grizzi, O., Shi, M., Bu, H. and Rabalais, J. W., Phys. Rev., B40, 10217 (1987) 
    24. Tabata, K., Choso, T., Murakami, A. and Suzuki, E., Surf. Sci, 402-404, 487 (1998) 
    25. Yoshimoto, M., Maeda, T., Shimozono, K., Koinuma, H., Shinohara, M., Ishiyama, O. and Ohtani, F., Appl. Phys. Lett., 65, 3197 (1994) 

 저자의 다른 논문

  • 황연 (24)

    1. 1999 "기계적 합금법에 의한 분말 처리 기술" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 10 (2): 145~153    
    2. 1999 "기계적합금법에 의한 $\textrm{TiB}_2$ 분말의 제조 및 Zr과 Ta이 합성에 미치는 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 9 (8): 787~791    
    3. 2000 "석탄회를 이용한 저밀도 세라믹 담체의 제조 기구" 資源리싸이클링 = Journal of the Korean Institute of Resources Recycling 9 (2): 33~39    
    4. 2000 "붕사 및 유리분말을 첨가한 석탄회로부터 저밀도 세라믹 담체의 제조" 資源리싸이클링 = Journal of the Korean Institute of Resources Recycling 9 (2): 40~45    
    5. 2000 "수열법에 의한 $CeO_2$ 분말 합성" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 11 (1): 52~57    
    6. 2001 "산화철 페촉매를 애용한 NiZn-페라이트의 합성" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 12 (1): 20~24    
    7. 2001 "산화철 폐촉매로부터 합성된 NiZn- 페라이트의 자기적 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 (12): 1162~1166    
    8. 2001 "석탄회를 이용한 제올라이트의 수열합성" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 12 (2): 97~101    
    9. 2001 "다중자연낙하 공기분급에 의한 정제석탄회로부터 뮬라이트 및 제올라이트의 합성" 資源리싸이클링 = Journal of the Korean Institute of Resources Recycling 10 (6): 29~34    
    10. 2002 "기계화학적 합성에 의한 합석으로부터의 안료 제조" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 13 (1): 31~35    

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