본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

한국현미경학회지 = Korean journal of microscopy v.39 no.4, 2009년, pp.349 - 354   피인용횟수: 2

집속이온빔장치와 주사전자현미경을 이용한 박막 트랜지스터 구조불량의 3차원 해석
Three Dimensional Reconstruction of Structural Defect of Thin Film Transistor Device by using Dual-Beam Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscopy

김지수    (엘지 디스플레이 (주) 구미분석팀   ); 이석열    (엘지 디스플레이 (주) 구미분석팀   ); 이임수    (엘지 디스플레이 (주) 구미분석팀   ); 김재열    (엘지 디스플레이 (주) 구미분석팀  );
  • 초록

    TFT-LCD의 구조불량이 발생한 박막 트랜지스터에 대해서 집속이온빔 가공장치(Dual-beam FIB/SEM)를 이용하여 연속절편법(Serial sectioning)과 일련의 연속적인 2차원 주사전자현미경 이미지를 얻었고, IMOD 소프트웨어를 통해서 3차원 구조구현(3D reconstruction) 연구를 하였다. 3차원 구조구현 결과, Gate막과 Data막이 접합되어 있는 불량이 관찰되었다. 두 막이 접합되어서 ON/OFF 역할을 하는 Gate의 기능이 상실되었고, Data신호는 Drain을 통해서 투명전극에 전류를 공급하여 계속 빛나는 선 불량(line defect)이 발생한 것으로 판단된다. 이 논문의 결과인 집속이온빔 가공장치(Dual-Beam FIB/SEM)를 이용한 3차원 구조구현 연구와 연속절편법, 주사전자현미경 이미지작업, 이미지 프로세싱에 대한 결과는 향후 연구의 기초자료로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.


    In this paper we have constructed three dimensional images and examined structural failure on thin film transistor (TFT) liquid crystal display (LCD) by using dual-beam focused ion beam (FIB) and IMOD software. Specimen was sectioned with dual-beam focused ion beam. Series of two dimensional images were obtained by scanning electron microscopy. Three dimensional reconstruction was constructed from them by using IMOD software. The short defect between Gate layer and Data layer was found from the result of three dimensional reconstruction. That phenomena made the function of the gate lost and data signal supplied to the electrode though the Drain continuously. That signal made continuous line defect. The result of the three dimensional reconstruction, serial section, SEM imaging by using the FIB will be the foundation of the next advanced study.


  • 주제어

    Three dimensional reconstruction .   FIB .   SEM .   TFT-LCD.  

  • 참고문헌 (9)

    1. Inkson B, Mulvihill M, Mobus G: 3D determination of grain shape in a FeAl-based nanocomposite by 3D FIB tomography. Scripta Materialia 45 : 753-758, 2001 
    2. Kim JG, Lee SH, Kweon HS, Jeong JM, Jeong WG, Lee SJ, Jou HT, Kim YJ: Objective Aperture Effects for the Quantitative Analysis in Electron Tomography. Korean J. Microscopy 38 : 285-291, 2008     
    3. Lee SR, Choi JH, Jhe JH, Lee LS, Ahn BC: Study of the hydrogen of SiNx film by Fourier transform infrared spectroscopy. J Korean Vacuum Society 17(3) : 215-219, 2008 
    4. Wu HZ, Roberts SG, Mobus G, Inkson B: Subsurface damage analysis by TEM and 3D FIB crack mapping in alumina and alumina/5vol.%SiC nanocomposites. Acta Materialia 51 : 149-163, 2003 
    5. 장 진: 박막트랜지스터-액정디스플레이 (TFT-LCD: Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display. 화학세계 37(7) : 25-28, 1997 
    6. Mun JY, Lee KE, Han SS: Three dimensional reconstruction of cellular structure in drosophila retina using high voltage electron microscopy. Korean J. Microscopy 39(2) : 185-189, 2009     
    7. 권오경: 고해상도 TFT-LCD 구동방법. 한국정보디스플레이학회지 4(6) : 16-20, 2003     
    8. Groeber MA, Haley BK, Uchic MD, Dimiduk DM, Ghosh S: 3D reconstruction and characterization of polycrystlline microstructures using a FIB-SEM system. Materials Characterization 57 : 259-273, 2006 
    9. 김정현: TFT-LCD의 고개구율 기술 동향. 한국정보디스플레이학회지 2(1) : 36-44, 2001 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (2)

    1. Kim, Ki-Woo ; Baek, Saeng-Geul ; Park, Byung-Joon ; Kim, Hyun-Wook ; Rhyu, Im-Joo 2010. "Applications of Focused Ion Beam for Biomedical Research" 한국현미경학회지 = Korean journal of microscopy, 40(4): 177~183     
    2. 2015. "" Applied microscopy, 45(4): 195~198     

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기