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고주파 마그네트론 스퍼터링에 의해 성막된 TiO2가 도핑된 ZnO 박막의 전기적 및 광학적 특성
Electrical and Optical properties of TiO2-doped ZnO Films prepared on PEN by RF-magnetron Sputtering Method

김화민    (대구가톨릭대학교 전자공학과   ); 손선영    (대구가톨릭대학교 전자공학과  );
  • 초록

    $TiO_2$ (2 wt.%)-doped ZnO(TZO) films with thickness from 100 nm to 500 nm were prepared on polyethylene naphthalate(PEN) substrate under various rf-power range from 40 W to 80 W. Their electrical and optical properties were investigated as a function of rf-power. We think that these properties were closely related with the crystallization and the film density of TZO films. It was also presumed that the vaporization of the water vapor and other adsorbed particles such as an organic solvents can affect the electrical properties of the conventional transparent conductive oxide(TCO) films. On the other hand, since the TZO film deposited on glass substrate at room temperature with rf-power of 80 W shows a very low resistivity of $7.5\times10^{-4}\;\Omega{\cdot}cm$ and a very excellent transmittance over an average 85% in the visible range, that is comparable to that of ITO films. Therefore, we expect that the TZO films can be used as transparent electrode for optoelectronic devices such as touch-panels, flat-panel displays, and thin-film solar cells.


  • 주제어

    TCO film .   ZnO: $TiO_2$ film .   RF-magnetron sputtering .   Resistivity .   Film density.  

  • 참고문헌 (20)

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    7. 김봉석, 이규일, 강현일, 이태용, 오수영, 이종환, 송준태, "다층박막을 이용한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성", 전기전자재료학회논문지, 20권, 12호, p. 1044, 2007.     
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    20. J. Tauc, in: J. Tauc (Ed.), Amorphous and Liquid Semiconductors, Plenum, London, 1974. 

 저자의 다른 논문

  • 김화민 (10)

    1. 2001 "RF-Magnetron Sputtering에 의하여 ITO 유리 위에 성장된 $SrTiO_3$박막의 열처리 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 10 (4): 416~423    
    2. 2005 "마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작된 $In_2O_3$-ZnO 박막의 전기적 특성에 대한 열처리 효과" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 14 (4): 238~244    
    3. 2008 "전자-선 증착 기술에 의해 성막된 다양한 무기 박막들의 투습 방지 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 17 (1): 9~15    
    4. 2010 "다양한 기판온도에서 증착된 투명 전도성 IGZO 박막의 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 23 (12): 961~965    
    5. 2011 "고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 Al 기판위에 증착된 PTFE 박막의 초-발수에 관한 특성 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 24 (1): 64~69    
    6. 2013 "Enhanced Hydrophilic Property of TiO2 Thin Film Deposited on Glass Etched with O2 Plasma" Transactions on electrical and electronic materials 14 (3): 152~155    
    7. 2015 "이종 접합 구조를 갖는 TiO2/WO3 이중 박막의 광유기 친수 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 28 (11): 715~720    
  • 손선영 (4)

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