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센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society v.19 no.2, 2010년, pp.87 - 91  
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진공여과증착법을 이용한 SWNT-PdOx계 수소센서
Hydrogen sensor of SWNT-PdOx system using the vacuum filtering deposition method

김일진    (대덕대학교 군사학부   ); 박기배    (한국에너지기술연구원  );
  • 초록

    Hydrogen gas sensors were fabricated using $PdO_x$ loaded with SWNTs. The nanoparticle powders of $SWNT_s-PdO_x$ composite were deposited on Si wafer substrates by a vacuum filtering deposition method. The fabricated sensors were tested against hydrogen gas. The composition ratio that exhibited the highest response to hydrogen gases was SWNTs : $PdO_x$ = 98 : 98 : 2 in wt% ratio at operating temperature of about $150^{\circ}C$ . The response and recovery times were shorter than 1.0 min. in presence of 1000 ppm hydrogen.


  • 주제어

    hydrogen sensor .   vacuum filtering deposition .   SWNTs.  

  • 참고문헌 (21)

    1. A.Katsuki and K.Fukui, "$H_2$ Selective gas sensor based on $SnO_2$", Sens. Actuators B, vol. 78, pp. 83-88, 2001. 
    2. T. Sasahara, A. Kido, H. Ishihara, T. Sunayama, and M. Egashira, "Highly sensitive detection of volatile organic compounds by an adsorption/combustion-type sensor based on mesoporous silica", Sens. Actuators B, vol. 108, pp. 478-483, 2005. 
    3. Chi-Hwan Han, Sang-Do Han, Ishwar Singh, and Thierry Toupance, "Micro-bead of nano-crystalline F-doped $SnO_2$ as a sensitive hydrogen gas sensor", Sens. Actuators B, vol. 109, pp. 264-269, 2005. 
    4. 홍대웅, 한치환, 김일진, 천성식, 한상도, 이상렬, "$Pd/ TiO_2$, $Pt/TiO_2$ 촉매를 이용한 접촉연소식 수소센서", 한국센서학회 종합학술대회 논문집, pp. 260-263, 2006. 
    5. 김찬우, 곽지혜, 전일수, 한상도, 최시영, "평판형 접촉연소식 마이크로 수소센서의 감지특성 향상", J. Kor. Sensors Soc., vol. 18, no. 3, pp. 202-206, 2009.     
    6. 홍대웅, 한치환, 한상도, 곽지혜, 이상렬, "광촉매와 UV LED를 이용한 접촉연소식 수소센서", J. Kor. Sensors Soc., vol. 16, no. 1, pp. 7-10, 2007.     
    7. 정귀상, 안정학, "Pd/다결정 3C-SiC 쇼트키 다이오드형 수소센서의 제작과 그 특성", J. Kor. Sensors Soc., vol. 18, no. 3, pp. 222-225, 2009.     
    8. 김광호, 최광표, 권용, 박진성, "수소 센서용 Pd 첨가한 박막의 특성", J. Kor. Sensors Soc., vol. 15, no. 2, pp. 120-126, 2006.     
    9. 강기호, 조용수, 한상도, 최시영, "Pd-black 촉매금속 이용한 고성능 MISFET 형 수소센서", J. Kor. Sensors Soc., vol. 15, no. 2, pp. 90-96, 2006.     
    10. 조우성, 문승일, 김영조, 박정호, 주병권, "다이아프램 구조를 이용한 탄소나노튜브 가스 센서의 가스 감응 특성", J. Kor. Sensors Soc., vol. 15, no. 1, pp. 13-19, 2006.     
    11. 김민주, 윤광현, 허증수, "단층 탄소나노튜브의 일산화질소 가스에 대한 감응특성과 열처리 효과", J. Kor. Sensors Soc., vol. 13, no. 4, pp. 292-297, 2004.     
    12. 조우성, 문승일, 백경갑, 박정호, "주병권패턴이 형성된 탄소나노튜브 매트의 이산화질소 감응 특성", J. Kor. Sensors Soc., vol. 15, no. 3, pp. 199-204, 2006.     
    13. Junya Suehiro1, Guangbin Zhou, and Masanori Hara, "Fabrication of a carbon nanotube-based gas sensor using dielectrophoresis and its application for ammonia detection by impedance spectroscopy", J. Phys. D: Appl. Phys. vol. 36, pp. 109-114, 2003. 
    14. W-S Cho, S-I Moon, Y-D Lee, Y-H Lee, J-H Park, and B K J, "Multiwall carbon nanotube gas sensor fabricated using thermomechanical structure", Electron Device Letters, vol. 26, pp. 498-500, 2005. 
    15. S. Iijima, "Helical microtubules of graphitic carbon", Nature, vol. 354, pp. 56-58, 1991. 
    16. Ray H. Baughman, Anvar A. Zakhidov, and Walt A. de Heer, "Carbon nanotubes-the route toward applications", Science, vol. 297, pp. 787-792, 2002. 
    17. 김일진, 전영집, 최창규, 이영욱, 최시영, 한창수, 한상도, "진공여과증착법을 이용한 SWNT-PtOx계 마이크로 톨루엔 가스센서", J. Kor. Sensors Soc., vol. 18, No. 2 pp. 179-183, 2009.     
    18. Y. Makita, S. Suzuki, H. Kataura, and Y. Achiba, "Synthesis of single wall carbon nanotubes by using arc discharge technique in nitrogen atmosphere", Eur. Phys. J. D, vol. 34, pp. 287-289, 2005. 
    19. H-H Kim and H-J Kim, "Synthesis of single wall carbon nanotubes by using arc discharge technique in nitrogen atmosphere", Japanese J. Applied Physics, vol. 46, pp. 1818-1820, 2007. 
    20. A. Fujiwara, K. Ishii, and H. Suematsu, "Gas adsorption in the inside and outside of single-walled carbon nanotubes", Chemical Physics Letters, vol. 336, no. 3-4, pp. 205-211, 2001. 
    21. C. Cantalini, W. Wlodarski, and Y. Li, "Investigation on the $O_3$ sensitivity properties of $WO_3$ thin films prepared by sol-gel, thermal evaporation and r.f. sputtering techniques", Sensors and Actuators B, vol. 64, no. 1-3, pp. 182-188, 2000. 

 저자의 다른 논문

  • 박기배 (11)

    1. 1994 "접촉연소식 센서의 알코올 검지 특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 3 (1): 32~39    
    2. 1995 "2-프로파놀의 탈수소화에 의한 수소제조 연구" 수소에너지 = Journal of the Korean Hydrogen Energy Society 6 (1): 11~16    
    3. 1996 "저공해 연소를 위한 화염진단장치의 특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 5 (6): 43~50    
    4. 1996 "$SnO_{2}$과 Pt를 첨가한 $WO_{3}$후막센서의 제조 및 NOx감응 특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 5 (5): 47~54    
    5. 1996 "Cu/ZnO/Cr2O3/Al2O3 촉매를 이용한 이산화탄소의 수소화 연구" 수소에너지 = Journal of the Korean Hydrogen Energy Society 7 (2): 147~155    
    6. 1998 "석탄액화시 바이오매스계 첨가제의 효과" 태양에너지 = Solar energy 18 (3): 161~167    
    7. 2001 "혼합전도성 $La_{0.6}Sr_{0.4}Co_{0.2}Fe_{0.8}O_{3-{\delta}}$ 분리막의 산소투과 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 (9): 787~793    
    8. 2001 "Fe가 Doping 된 LaGaO3 폐롭스카이트 혼합 전도체의 제조 및 코팅에 따른 산소투과 성능 향상" 수소에너지 = Journal of the Korean Hydrogen Energy Society 12 (2): 137~146    
    9. 2004 "물의 전기분해에 의한 수소 제조기술과 경제성 분석" 한국수소 및 신에너지학회 논문집 = Transactions of the Korean Hydrogen and New Energy Society 15 (4): 324~332    

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