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센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society v.19 no.2, 2010년, pp.130 - 136   피인용횟수: 1
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비정질 실리콘을 이용한 미세 피치 적외선 이미지 센서 제조 및 특성
Fabrication and characterization of fine pitch IR image sensor using a-Si

김경민    (나노종합팹센타 멤스바이오팀   ); 김병일    (나노종합팹센타 멤스바이오팀   ); 김희연    (나노종합팹센타 멤스바이오팀   ); 장원수    (오카스   ); 김태현    (오카스   ); 강태영    (오카스  );
  • 초록

    The microbolometer array sensor with fine pitch pixel array has been implemented to the released amorphous silicon layer supported by two contact pads. For the design of focal plane mirror with geometrical flatness, the simple beam test structures were fabricated and characterized. As the beam length decreased, the effect of beam width on the bending was minimized, Mirror deformation of focal plane in a real pixel showed downward curvature by residual stress of a-Si and Ti layer. The mirror tilting was caused by the mis-align effect of contact pad and confirmed by FEA simulation results. The properties of bolometer have been measured as such that the NETD 145 mK, the TCR -2 %/K, and thermal time constant 1.99 ms.


  • 주제어

    microbolometer .   amorphous silicon .   IR sensor .   MEMS.  

  • 참고문헌 (7)

    1. Y. Zhao, M. Mao, R. Horowitz, A. Majumdar, J. Varesi, P. Norton, and J. Kitching, "Optomechanical uncooled infrared imaging system design, microfabrication and performance", Journal of MEMS, vol. 11, no. 2, 2002. 
    2. Kazuhiko Hashimoto, Huaping Xu, Tomonori Mukaigawa, Ryuichi Kubo, Hong Zhu, Minoru Noda, and Masanori Okuyama, "Si monolithic microbolometers of ferroelectric BST thin film combined with readout FET for uncooled infrared image sensor", Sensors and Actuators, vol. 88, pp. 10-19, 2001. 
    3. Sabuncuoglu Tezcan, D., Eminoglu, S., and Sevket Akar, O., "A low cost uncooled infrared microbolometer focal plane array using the CMOS n-well layer", Micro Electro Mechanical Systems, 14th IEEE Int MEMS Conference, pp. 566-569, 2001. 
    4. R.A.Wood, "Uncooled thermal imaging with monolithic silicon focal planes", Proc. SPIE 2020, p. 322, 1993. 
    5. E. L. Dereniak and G. D. Boreman, Infrared Detectors and Systems, John Wiley & Sons, New York, 1996. 
    6. Yue Kuo, Thin film Transistors, Kluwer Academic Publishers. 
    7. Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Academic press, 2004. 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Han, Chang Suk ; Park, Seung Man ; Kim, Nam-Hwan ; Han, Seungoh 2013. "SPICE-Compatible Modeling of a Microbolometer Package Including Thermoelectric Cooler" Journal of sensor science and technology = 센서학회지, 22(1): 44~48     

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