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大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A v.34 no.7=no.298, 2010년, pp.859 - 866   SCOPUS 피인용횟수: 1
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모듈화된 초소형 몰드 시스템(MSMS)을 이용한 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정
Replication of Multi-level Microstructures by Microinjection Molding Using Modularized and Sectioned Micromold System

이봉기    (포항공과대학교 기계공학과   ); 권태헌    (포항공과대학교 기계공학과  );
  • 초록

    본 연구에서는 다단 마이크로 구조물의 대량성형을 위하여, 모듈화된 초소형몰드 시스템(MSMS)을 이용한 초소형 사출성형 공정을 수행하였다. 본 연구에서 적용된 초소형몰드 시스템은 여러 모듈들로 구성되어 있으며, 각 모듈들은 다양한 단면 마이크로 구조물을 가지고 있다. 초소형몰드 시스템의 모듈들은 X-선 리소그래피 공정 및 니켈 전주도금 공정으로 제작되었으며, 다양한 모듈들을 조합 및 결합함으로써 복잡한 형상을 가지는 초소형몰드 시스템을 효과적으로 구현할 수 있다. 이와 같은 초소형몰드 시스템을 적용함으로써, 본 연구에서는 다단 구조물의 표면에 마이크로 삼각 프리즘이 주기적으로 배열되어 있는 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정을 성공적으로 수행하였다.


    In this study, microinjection molding process using the newly developed micromold system, namely modularized and sectioned micromold system (MSMS), has been carried out for a replication of multi-level microstructures. The present MSMS consisted of several micromold modules, each having cross-sectional microstructures on the top surface. The micromold modules were precisely fabricated by deep X-ray lithography and subsequent nickel electroforming. By assembling the micromold modules, an MSMS having multi-level microstructures, which could be used as a mold system in micromolding processes, was obtained. In this manner, polymeric multi-level microstructures, such as the triangular prism microstructures on a stepped surface, were successfully replicated by the microinjection molding process.


  • 주제어

    초소형 몰드 시스템 .   초소형 사출성형 .   모듈화 .   리가 공정 .   다단 마이크로 구조물.  

  • 참고문헌 (14)

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    14. Lee, B.-K. and Kwon, T. H., 2009, "Development ofModularized & Sectioned Micromold System(MSMS) via LIGA Technology," 8th InternationalWorkshop on High Aspect Ratio MicrostructureTechnology (HARMST), pp. 79-80, Saskatoon,Canada, June 25-28. 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Lee, Bong-Kee ; Kim, Jong-Hyun 2015. "Manufacturing of Micromolds for Plastic Molding Technologies via Synchrotron LIGA Process" 한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, 14(4): 1~7     

 저자의 다른 논문

  • 이봉기 (1)

    1. 2006 "변형 LIGA 공정을 통해 제작된 마이크로 렌즈 어레이의 모델링 및 성형" 소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics 15 (1): 34~41    
  • 권태헌 (29)

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