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Transactions on electrical and electronic materials v.11 no.3, 2010년, pp.130 - 133  
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Polymer Micromachined Flexible Tactile Sensor for Three-Axial Loads Detection

Choi, Woo-Chang    (Research Institute, Daeyang Electric Co., Ltd.  );
  • 초록

    A flexible three-axial tactile sensor was fabricated on Kapton polyimide film using polymer micromachining technology. Nichrome (Ni:Cr = 8:2) strain gauges were positioned on an etched membrane to detect normal and shear loads. The optimal positions of strain gauges were determined through strain distribution from finite element analysis. The sensor was evaluated by applying normal and shear loads from 0 N to 0.8 N using an evaluation system. Sensitivity of the tactile sensor to normal and shear loads was about 206.6 mV/N and 70.1 mV/N, respectively. The sensor showed good linearity, and its determination coefficient ( $R^2$ ) was about 0.982. The developed sensor can be applied in a curved or compliant surface that requires slip detection and flexibility, such as a robotic fingertip.


  • 주제어

    Flexible .   Three-axial .   Polyimide .   Micromachining .   Tactile sensor.  

  • 이미지/표/수식 (7)

    • (a) Schematic diagram of the designed tactile sensor, (b) schematic perspective view of tactile sensor with four strain gauges S<sub>1</sub>~S<sub>4</sub>.
    • Strain distribution obtained from finite element analysis at the location along the membrane centerline when normal and shear loads of 0.8 N are applied, respectively.
    • Fabrication flow of the tactile sensor.
    • Optical images of the fabricated tactile sensor.
    • The evaluation system for measuring both normal and shear loads.
    • Results of evaluation under normal loading.
    • Results of evaluation under shear loading.

    논문관련 이미지

  • 참고문헌 (12)

    1. K. H. Lee and H. R. Nicholls, Mechatronics, 9, 1 (1999) [DOI: 10.1016/S0957-4158(98)00045-2]. 
    2. V. Duchaine, N. Lauzier, M. Baril, M.-A. Lacasse, and C. Gosselin, IEEE International Conference on Robotics and Automation (ICRA '09) (Kobe, Japan 2009 May 12-17) p. 3676. [DOI: 10.1109/ROBOT.2009.5152595]. 
    3. E. S. Hwang, J. H. Seo, and Y. J. Kim, J. Microelectromech. Syst. 16, 556 (2007) [DOI: 10.1109/JMEMS.2007.896716]. 
    4. T. Mei, W. J. Li, Y. Ge, Y. Chen, L. Ni, and M. H. Chan, Sens. Actuators A 80, 155 (2000) [DOI: 10.1016/S0924-4247(99)00261-7]. 
    5. B. J. Kane, M. R. Cutkosky, and G. T. A. Kovacs, Sen. Actuators A 54, 511 (1996) [DOI: 10.1016/S0924-4247(95)01191-9]. 
    6. M. Leineweber, G. Pelz, M. Schmidt, H. Kappert, and G. Zimmer, Sens. Actuators A 84, 236 (2000) [DOI: 10.1016/S0924-4247(00)00310-1]. 
    7. E. S. Kolesar Jr. and C. S. Dyson, J. Microelectromech Syst. 4, 87 (1995) [DOI: 10.1109/84.388117]. 
    8. J. Engel, J. Chen, Z. Fan, and C. Liu, Sens. Actuators A 117, 50 (2005) [DOI: 10.1016/j.sna.2004.05.037]. 
    9. J. Engel, J. Chen, and C. Liu, J. Micromech. Microeng. 13, 359 (2003) [DOI: 10.1088/0960-1317/13/3/302]. 
    10. J. H. Kim, H. J. Kwon, Y. K. Park, M. S. Kim, D. I. Kang, and J. H. Choi, Input Method of Date Using Tactile Sensor, Korea Patent 784956, 2007. 
    11. J. H. Kim, W. C. Choi, Y. K. Park, J. I. Lee, M. S. Kim, J. H. Choi, and D. I. Kang, Fabrication Method of Flexible Tactile Sensor Using Polymer Film, Korea Patent 735295, 2007. 
    12. J. H. Kim, W. C. Choi, H. J. Kwon, and D. I. Kang, 5th IEEE Conference on Sensors (Daegu, Korea 2006 Oct. 22-25) p. 1468. [DOI: 10.1109/ICSENS.2007.355911]. 

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