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한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society v.47 no.4 = no.329, 2010년, pp.290 - 295   SCOPUS 피인용횟수: 7
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다이아몬드 지립을 이용한 구조세라믹스의 경면가공 특성
Mirror-surface Machining Properties of Structural Ceramics using Diamond Abrasives

김유영    (국립진주산업대학교 기계공학과   ); 곽태수    (국립진주산업대학교 기계공학과   ); 김경년    (거제대학 기계공학과  );
  • 초록

    This study has been focused on properties of mirror surface grinding technology by ELID(Electrolytic In-process Dressing) for structural ceramics using in high precision structural parts as like semi-conductor manufacturing processes. The experimental studies have been carried out to get mirror surface for grinding of structural ceramics, SiC, $Al_2O_3$ and AlN. Grinding process of the ceramics is carried out with varying mesh type, depth of cut and feed rate using diamond wheel. The machining result of the surface roughness and condition of ground surface, have been analyzed by use of surface roughness tester, SEM, AFM and three dimensional surface profiler measurement system.


  • 주제어

    Structural ceramics .   Mirror-surface machining .   Surface roughness .   Ductile mode .   Brittle mode.  

  • 참고문헌 (7)

    1. T. Kwak, “Microstructure Analysis for Efficiency Grinding of Structural Ceramics,” J. Kor. Soc. Prec. Eng., 24 [10] 31-6 (2007).     
    2. T. Kwak and H. Ohmori, “Nano-level Mirror Surface Machining Technology for SiC Ceramics Mirror,” J. Kor. Soc. Prec. Eng., 23 [6] 29-36 (2006).     
    3. Y. Dai, H. Ohmori, Y. Watanabe, H. Eto, W. Lin, and T. Suzuki, “Subsurface Properties of Ceramics for Lightweight Mirrors after ELID Grinding,” Int. J. of Jpn. Soc. of Mech. Eng., Series C, 47 [1] 66-71 (2004). 
    4. H. Ohmori and T. Nakagawa, “Analysis of Mirror Surface Generation of Hard and Brittle Materials by ELID(Electrolytic In-Process Dressing) Grinding with Superfine Grain Metallic Bond Wheels,” Annals of the Int. Academy for Prod. Eng., 44 [1] 287-90 (1995). 
    5. H. Ohmori and T. Nakagawa, “Mirror Surface Grinding of Silicon Wafer with Electrolytic In-process Dressing,” Annals of the Int. Academy for Prod. Eng., 39 [1] 329-32 (1990). 
    6. Y. Jeong, H. Kim, J. Choi, and H. Jeong, “The Effect of Slurry Flow Rate and Temperature on CMP Characteristic,” J. Kor. Soc. Prec. Eng., 21 [11] 46-52 (2004).     
    7. H. Lee, K. Cho, M. Jang, C. Jang, S. Kim, and M. Kim, “Characteristics of Large Green and Sintered Alumina Ceramics by Filter Pressing(in Korean),” J. Kor. Ceram. Soc., 46 [3] 306-12 (2009).     
  • 이 논문을 인용한 문헌 (7)

    1. Lim, Hyung-Bong ; Tang, Dongxu ; Lee, Ki-Ju ; Cho, Won-Seung 2011. "Green and Hard Machining Characteristics of Zirconia-alumina Composites for Dental Implant" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, 48(2): 152~159     
    2. Kwak, Tae-Soo 2012. "Properties of Mirror-surface Grinding for Metal Matrix Ceramic Composites" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, 49(1): 90~94     
    3. Kwak, Jae-Seob ; Kim, Geon-Hee ; Lee, Yong-Chul ; Ohmori, Hitoshi ; Kwak, Tae-Soo 2012. "Properties of ELID Mirror-Surface Grinding for Single Crystal Sapphire Optics" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 29(3): 247~252     
    4. Kwak, Jae-Seob ; Kwak, Tae-Soo 2013. "Review of Technology Trends for Ceramics Removal-Machining" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 30(12): 1227~1235     
    5. Kwak, Tea-Soo ; Jung, Myung-Won ; Kim, Geon-Hee ; Kwak, Ihn-Sil 2013. "The Effect of Ultrasonic Vibration Table on ELID Grinding Process of Aluminum Nitride Ceramics" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 30(12): 1237~1243     
    6. Kwak, Tae-Soo ; Kim, Gyung-Nyun ; Kwak, Ihn-Sil 2013. "Development of ELID Monitoring System and its Application to ELID Grinding of Structural Ceramics" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 30(12): 1245~1251     
    7. Shin, Gun-Hwi ; Kwak, Tae-Soo ; Jung, Myung-Won ; Kwak, Ihn-Sil 2016. "Effect of Reference Current and Depth of Cut on Electro-Discharge Energy in Electro-Discharge Truing Process for Metal-Bonded Grinding Wheel" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, 33(6): 485~490     

 저자의 다른 논문

  • 김경년 (10)

    1. 2000 "HDD용 Glass Disk의 ELID 연삭 성능 평가" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (2): 161~168    
    2. 2000 "ELID 연삭에 의한 고경도 재료의 미소형상가공" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 17 (3): 122~128    
    3. 2001 "평면연삭반에서 난삭재의 ELID연삭" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 18 (5): 157~164    
    4. 2003 "표면침탄 열처리강의 초입자연삭 가공시 연삭성 평가" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 20 (11): 55~63    
    5. 2003 "초연삭입자와 ELID를 이용한 고정밀 고능률 연삭가공" 한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers 2 (4): 25~32    
    6. 2006 "유리렌즈 성형 금형의 나노 경면가공" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 23 (1): 97~104    
    7. 2010 "평행연삭과 자기연마에 의한 유리렌즈 성형용 코어 금형의 표면가공 특성" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 27 (12): 22~27    
    8. 2013 "ELID 연삭 모니터링 시스템의 개발과 구조 세라믹스 적용 사례" 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering 30 (12): 1245~1251    

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