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한국재료학회지 = Korean journal of materials research v.22 no.4, 2012년, pp.174 - 179   SCOPUS 피인용횟수: 4
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폐 인듐주석산화물 타겟의 재활용 기술
Recycling Method of Used Indium Tin Oxide Targets

이영인    (한양대학교 정밀화학공학과   ); 좌용호    (한양대학교 정밀화학공학과  );
  • 초록

    In this study, we demonstrated a simple and eco-friendly method, including mechanical polishing and attrition milling processes, to recycle sputtered indium tin oxide targets to indium tin oxide nanopowders and targets for sputtered transparent conductive films. The utilized indium tin oxide target was first pulverized to a powder of sub- to a few- micrometer size by polishing using a diamond particle coated polishing wheel. The calcination of the crushed indium tin oxide powder was carried out at $1000^{\circ}C$ for 1 h, based on the thermal behavior of the indium tin oxide powder; then, the powders were downsized to nanometer size by attrition milling. The average particle size of the indium tin oxide nanopowder was decreased by increasing attrition milling time and was approximately 30 nm after attrition milling for 15 h. The morphology, chemical composition, and microstructure of the recycled indium tin oxide nanopowder were investigated by FE-SEM, EDX, and TEM. A fully dense indium tin oxide sintered specimen with 97.4% of relative density was fabricated using the recycled indium tin oxide nanopowders under atmospheric pressure at $1500^{\circ}C$ for 4 h. The microstructure, phase, and purity of the indium tin oxide target were examined by FE-SEM, XRD, and ICP-MS.


  • 주제어

    indium tin oxide .   recycling .   nanopowder .   sputtering .   sintering.  

  • 참고문헌 (14)

    1. T. Minami, Thin Solid Films, 516, 5822 (2008). 
    2. J. S. Kim, M. Granstrom, R. H. Friend, N. Johansson, W. R. Salaneck, R. Daik, W. J. Feast and F. Cacialli, J. Appl. Phys., 84, 6859 (1998). 
    3. F. C. Krebs, Org. Electron., 10, 761 (2009). 
    4. S. -J. Park and H. -C. Shin, Kor. J. Mater. Res., 22(1), 1 (2011) (in Korean). 
    5. B. -C. Kim, J. -H. Lee, J. -J. Kim and T. Ikegami, Mater. Lett., 52, 114 (2002). 
    6. C. P. Udawatte and K. Yanagisawa, J. Am. Ceram. Soc., 84, 251 (2001). 
    7. G. Zhu, Z. Yang, L. Zhi, H. Yang, H. Xu and A. Yu, J. Am. Ceram. Soc., 93, 2511 (2010). 
    8. Y. -M. Kong, Y. -J. Lee, S. -B. Heo, H. M. Lee, M. -S. Seo, Y. -S. Kim and D. Kim, Kor. J. Mater. Res., 22(1), 24 (2011) (in Korean). 
    9. Mineral Commodity Summaries, p. 76, U. S. Geological Survey, USA (2009). 
    10. S. R. Taylor and S. M. McLennan, Rev. Geophys., 33, 241 (1995). 
    11. R. M. German, Powder Metallurgy Science, 2nd ed., p. 69, Metal Powder Industries Federation, Princeton, USA (1994). 
    12. B. -C. Kim, J. -H. Lee, J. -J. Kim, H. Y. Lee and J. -S. Lee, Mater. Res. Bull., 40, 395 (2005). 
    13. C. P. Udawatte and K. Yanagisawa, J. Am. Ceram. Soc., 84, 251 (2001). 
    14. B. -C. Kim, S. -M. Kim, J. -H. Lee and J. -J. Kim, J. Am. Ceram. Soc., 85, 2083 (2002). 
  • 이 논문을 인용한 문헌 (4)

    1. Lee, Young-In ; Choa, Yong-Ho 2012. "Synthesis of Silver Nanofibers Via an Electrospinning Process and Two-Step Sequential Thermal Treatment and Their Application to Transparent Conductive Electrodes" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research, 22(10): 562~568     
    2. Hong, Sung-Jei ; Lee, Jae Yong 2015. "Trends of Recycling of Indium-Tin-Oxide (ITO) Target Materials for Transparent Conductive Electrodes (TCEs)" 청정기술 = Clean technology, 21(4): 209~216     
    3. Uhm, Sunghyun ; Cho, Sungsu ; Lee, Sooyoung 2015. "Recovery of Indium for the Recycling of End-of-life Flat Panel Display Devices" 공업화학 = Applied chemistry for engineering, 26(4): 389~393     
    4. Lee, Young-In 2015. "Study on the Diameter-Controlled Synthesis of Silver Nanofibers and Their Application to Transparent Conductive Electrodes" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research, 25(10): 537~542     

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